최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기등록일자 | 2006-06-15 |
---|---|
출처 | KOSEN-코센리포트 |
URL | https://kosen.kr/info/kosen/413585 |
원문 | http://ej.iop.org/links/q37/W+2y9sV8lg0WGxVBf5rZPQ/d6_3_R01.pdf |
문서암호 : www.kosen21.org
1. 분석자 서문
플라즈마는 일반적인 반도체 공정뿐만 아니라 공해 물질의 연소, 표면 처리 등 다양한 분야에서 응용되고 있다. 특히 미세 플라즈마는 ‘파센의 법칙’에 의해 압력과 양 전극 간의 거리의 곱에 비례해 절연 파괴 전압이 결정되어 방전이 발생함으로써 얻을 수 있다. 미세화된 전극간의 거리에 따라 다양한 플라즈마 현상이 관찰되었으며, 이를 이용하여 전통적인 플라즈마로 얻을 수 없는 많은 이점을 가질 수 있게 되었다. 본 논문에서는 현재 주로 다루어 지고 있는 마
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.