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NTIS 바로가기등록일자 | 2007-10-08 |
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출처 | KOSEN-코센리포트 |
URL | https://kosen.kr/info/kosen/587732 |
문서암호 : www.kosen21.org
1. 분석자 서문
마이크로시스템을 설계하는 데 있어 가장 중요한 요소 중 하나는 효율적인 마이크로 스케일의 구동기를 구현하는 것이다. 구동기를 구현하는 크기가 작아짐에 따라 크기효과 (scale effect) 에 의해 작동에 필요한 변위와 힘을 내는 방법에 제약이 생기고, 마찰, 정전력, 표면장력 등 기계적 외란에 의한 제약이 발생한다. 형상기억합금(SMA; shape memory alloy)은 물질의 무게에 비해 큰 힘을 낼 수 있고, 대변위 구동이 가능하며, 마이크로시스
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