초록 ▼

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1. 분석자 서문

최근 10여 년 간 나노홀 어레이는 고유한 광학 물리적 특성을 이용하여 광물리, 광전지, 생화학적 물질 분석을 위한 센서 등 다양한 응용 분야에서 사용되어 왔다. 이러한 나노홀 어레이를 제작하기 위하여 집속이온빔(focused ion beam, FIB) 밀링, 소프트-임프린트 리소그래피(soft-imprint lithography), 콜로이드 리소그래피(colloidal lithography), 그리고 최근엔 나노스피어 리소그래피(n

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1. 분석자 서문

최근 10여 년 간 나노홀 어레이는 고유한 광학 물리적 특성을 이용하여 광물리, 광전지, 생화학적 물질 분석을 위한 센서 등 다양한 응용 분야에서 사용되어 왔다. 이러한 나노홀 어레이를 제작하기 위하여 집속이온빔(focused ion beam, FIB) 밀링, 소프트-임프린트 리소그래피(soft-imprint lithography), 콜로이드 리소그래피(colloidal lithography), 그리고 최근엔 나노스피어 리소그래피(nanosphere lithography, NSL) 등 다양한 방법들이 고안되어 왔다. 특히 NSL은 실험적 조건들을 통해 다른 모양의 나노홀 어레이를 만들 수 있게 된다. 공정 조건을 통해 비 정렬된 나노홀 어레이나 정렬된 나노홀 어레이를 만들 수 있으며, 여러 다른 공정 기술과 결합하여 나노홀 이외에 다양한 나노패턴 구조물들을 만들 수 있다. 본 분석에서는 Analyst 저널에 최근에 출간된 리뷰 논문, “Nanohole arrays in chemical analysis: manufacturing methods and applications” [1] 을 바탕으로 분석화학 분야에서 이용될 수 있는 나노홀의 광학적 특징을 중심으로 하여 여러 제조 방법들에 대해 요약하고, 국소 표면 플라즈몬 공명(localized surface plasmon resonance, LSPR), 표면 플라즈몬 공명(surface plasmon resonance, SPR), 표면 향상 라만 분광법(surface-enhanced Raman spectroscopy, SERS), 전기화학 등 나노홀 어레이의 다양한 응용 분야 등에 대한 내용을 정리하고자 한다.


2. 목차

1. 개요

2. 비정렬 나노홀

3. 정렬된 나노홀 어레이
3.1 금속 마스크의 전기화학적 증착을 통한 나노홀 어레이
3.2 스침 증착 (GLAD)을 통한 나노홀 어레이
3.3 NSL 마스크 식각을 통한 나노홀 어레이
3.4 나노홀 어레이의 화학적, 광학적 특성

4. 응용 분야
4.1 플라즈모닉 기반의 바이오센서
4.2 수정진동마이크로 밸런스(QCM)와 집적된 나노홀 어레이
4.3 표면 향상 분석법
4.4 광전지/전극 물질

5. 결론

Reference



3. 원문정보

Jean-Fran？ois Masson, Marie-Pier Murray-M？thot and Ludovic S. Live/Nanohole arrays in chemical analysis: manufacturing methods and applications/Analyst, 2010, 135, 1483 - 1489/June 2010


※ 이 자료의 분석은 University of Minnesota의 임형순님께서 수고해 주셨습니다.