초록 ▼

1. 분석자 서문
지금까지 많은 연구개발에 의해 화석 연료의 부산물로 발생하는 질소산화물(NOx)을 검출해내는 과학기술이 크게 발전하였다. 더군다나, 건강과 환경에 대한 사람들의 관심이 높아지면서 분석/재료 과학자들은 빠르고 신뢰성 높은NOx 기체센서를 제조하기 위해 다양한 기술적, 전략적 방법들을 제시해 왔다. 과학자들에 있어 반도체 금속산화물은 낮은 가격과 좋은 가공성 및 반응성, 전기특성 등으로 인해 센서 제조에 있어 항상 가장 우선적 선택 재료로 여겨졌다. 본 리뷰는 이러한 금속 산화물 구조가 차량배기 및 환경 모니터

1. 분석자 서문
지금까지 많은 연구개발에 의해 화석 연료의 부산물로 발생하는 질소산화물(NOx)을 검출해내는 과학기술이 크게 발전하였다. 더군다나, 건강과 환경에 대한 사람들의 관심이 높아지면서 분석/재료 과학자들은 빠르고 신뢰성 높은NOx 기체센서를 제조하기 위해 다양한 기술적, 전략적 방법들을 제시해 왔다. 과학자들에 있어 반도체 금속산화물은 낮은 가격과 좋은 가공성 및 반응성, 전기특성 등으로 인해 센서 제조에 있어 항상 가장 우선적 선택 재료로 여겨졌다. 본 리뷰는 이러한 금속 산화물 구조가 차량배기 및 환경 모니터링에 있어 응용되는 최근 연구결과들을 제시하고 있다. 가장 중점적으로 강조하고 싶은 분야는 반도체 금속산화물을 액티브 층으로 사용하는 화학저항 장치(chemiresistor)와 FET 디바이스 (field effect transistor) 등이다. 본문에서는 이러한 NOx 센서의 성능 수준을 다른 반도체 재료들뿐만 아니라, 다른 여러 디바이스와도 비교하고 있다. 또한 최종적인 사용자 단계에서 고려한 현재의 센서 기술과 미래 기술의 한계점에 대해서도 다루고 있다.
2. 목차
1. 개요1.1. 질소 산화물의 검출이 왜 필요한가? 1.2. 배기가스 방출 및 제어
2. 전기센서2.1. 화학저항 및 트랜지스터2.2. 검출원리
3. 나노구조 금속산화물3.1. 순수 금속산화물3.2. 도판트와 기체반응 유발물질3.3. 혼합금속 산화물3.4. 다른 반도체와 금속산화물 하이브리드
4. NOx센서특성: 한계와 도전4.1. 구조효과4.2. 하소온도 4.3. 작동온도와 센서 운동역학4.4. 역학적 검출범위 4.5. 교차감응성과 선택성 4.6. NO와 NO2의 구분
5. 금속산화물 화학저항과 다른 재료/디바이스 비교
6. 결론과 미래 조망
References
3. 원문정보
A. Afzal, N. Cioffi, L. Sabbatini, L. Torsi/ NOx sensors based on semiconducting metal oxide nanostructures: progress and perspective/ Sensors and Actuators B : Chemical, vol. 172-172, pp. 25~42/ 2012년 8월
※ 이 자료의 분석은 삼성전자 종합기술원의 배우진께서 수고해 주셨습니다.