최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
---|---|
연구책임자 | 천성순 |
참여연구자 | 장동훈 , 박홍락 , 박영진 , 강창진 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1987-08 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200200000015 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 플라즈마 화학증착.공구강.초경공구재.TIN. |
본 연구에서는 플라즈마 화학증착 장치를 설계, 제작하였으며 이를 이용하여 공구강으로 널리 사용되고 있는 SK3, SKD11, SKH51 및 초경공구재인 WC-6CO 합금표면에 TICL4-N2-Ar-H2의 반응기체를 사용하여 TIN을 플라즈마 화학증착시켰다. 실험결과, 350
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.