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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 정형진 |
참여연구자 | 최두진 , 윤상옥 , 오영제 , 이전국 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1988-04 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200200000144 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 양극산화법.졸겔법.CVD.Al₂O₃.TiO₂.Ta₂O(low 5).BaTiO₃. |
CVD법,양극산화법 및 졸겔법에 의한 세라믹스 박막의 제조실험을 통하여 다음과 같은 결론을 얻었다.
1) CVD법에 의한 Al목차 Contents
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