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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
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연구책임자 | 유헌수 |
참여연구자 | 은탁 , 정형진 , 정승배 , 정석태 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1989-11 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200200000698 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 위치결정기술.압전모타시스템.인치웜모타.위치추적기능.Positioning Technology.Piezomotor System.Inchworm Motor.Positon Tracking. |
제품 성능의 한계는 많은 경우 제조 및 검사공정에서의 정밀도에 의해 결정되며, 그것을 얻기위한 핵심기술중의 하나가 정밀 위치결정 기술이다. 본 연구에서 개발하고자 하는 압전모타 시스템은 전기모타에 비해 공정밀도를 얻을 수 있을 뿐더러, 주변의 강한 자장에도 영향을 받지 않고, 발열이 적으므로 진공하에서도 사용이 가능하다. 그러므로, 측정시스템, 반도체 제조장치, 특수 첨단공정등에 응용되어질 수 있다. 본 연구에서는 초정밀 위체제어에 사용되는 기존의 인치웜모차의 위치추적기능등 성능개선을 위하여 새로운 형태의 구조 및 구동원리를 제시하
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