초록 ▼

본 연구에서는 유전율이 낮고( ~6 ),기계적 강도가 높으며 ( > 140MPa)화학적 특성이 우수하고,열팽창계수가 낮은 ( ~ 4) 저온 소성용 기판의 특성이 양호한 코디어라이트 결정화유리를 900-1000℃범위에서 소성이 가능한 소재로 개발하였다. MgO-Si0₂-Al₂O₃삼성분계에서 코디어라이트 1차상 영역의 조성에서 핵생성제로 ZrO₂,P₂O(low 5)등을 소량 첨가하여 1000℃이하에서 α코디어라이트를 주결정상으로 하는 저유전율(5.7)을 갖는 소결체를 제조하였다. 유리 분말의 입도 분포에 따른 소결 및 결정화에 미치는

본 연구에서는 유전율이 낮고( ~6 ),기계적 강도가 높으며 ( > 140MPa)화학적 특성이 우수하고,열팽창계수가 낮은 ( ~ 4) 저온 소성용 기판의 특성이 양호한 코디어라이트 결정화유리를 900-1000℃범위에서 소성이 가능한 소재로 개발하였다. MgO-Si0₂-Al₂O₃삼성분계에서 코디어라이트 1차상 영역의 조성에서 핵생성제로 ZrO₂,P₂O(low 5)등을 소량 첨가하여 1000℃이하에서 α코디어라이트를 주결정상으로 하는 저유전율(5.7)을 갖는 소결체를 제조하였다. 유리 분말의 입도 분포에 따른 소결 및 결정화에 미치는 영향을 고찰하였으며,2가지 입도를 갖는 분말을 혼합하여 최적상태에서 고강도,저유전율의 소결체를 제조할 수 있었다. 기판 제조를 위하여 슬러리의 유기바인더 계를 최적화하여 Green Sheet를 제조하였다. 전도도가 높고,값이 싸며 Migrtion특성이 우수한 Cu도체로 Metallizing한 결과 좋은 접합상태를 보였다.

목차 Contents

• 제1장 서론...13
• 제2장 문헌조사...15
• 제1절 다층 기판용 재료의 요구조건...15
• 제2절 Cordierite의 구조 및 특성...20
• 제3절 유리 분말의 소결...22
• 제4절 Cordierite 유리의 결정화...24
• 제5절 Cordierite 결정화 유리의 첨가제...29
• 제6절 Cu conductor...30
• 제7절 Green Sheet의 특성...39
• 제8절 Lamination...47
• 제9절 Doction blade casting 공정...50
• 제10절 저온 소성용 다층 기판의 개발사례...55
• 제3장 실험방법...61
• 제1절 제조방법...61
• 제2절 물성측정...69
• 제4장 결과 및 고찰...72
• 제1절 Cordierite 유리 및 분말특성...72
• 제2절 소성 실험...73
• 제3절 입도의 영향...85
• 제4절 B₂O₃의 첨가 영향...92
• 제5절 ZrO₂의 첨가 영향...99
• 제6절 Cu 도체의 소성...104
• 제5장 결론...109
• 참고문헌...112