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RBS分析法에 依한 金屬表面 成分分析法 開發
Development of Metal Surface Analysis Method using Rutherford Backscattering Spectrometry 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국동력자원연구소
Korea Institute of Energy Research
연구책임자 金洛培
참여연구자 禹亨柱 , 金德卿 , 金俊坤 , 崔漢羽 , 千相基
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1989-07
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국지질자원연구원
Korea Institute of Geoscience and Mineral Resources
등록번호 TRKO200200002371
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 가속기.이온빔.표면분석.Accelerator.RBS.Channeling.Silicide.Ion Beam.Surface.Analysis.

초록 ▼

최근 첨단산업의 발전에 따라 극히 정밀한 표면처리가 요구되는 반도체소재 및 신소재의 수요가 급증하고 있으며 입자가속기를 이용한 MeV급 이온빔 분석법은 표면분석분야에 가장 적합한 분석법으로 알려져 있다. 본 연구는 비파괴, 절대측정에 의한 표면분석 수단으로서 국내 표면분석 분야 연구활성화에 크게 기여하리라 생각되는 RBS분석법의 개발 및 실용화연구를 최종목표로 하여 수행되었으며, 1차년도에는 실용화이전에 요구되는 제반사항, 즉 시스템구성 및 성능조사, 표준시료에 의한 시스템 검·교정, 이온빔 최적조건 도출에 관해 연구하였다. 연구결

목차 Contents

  • 제1장 서 론...18
  • 제2장 본 론...24
  • 제3장 결 론...132
  • 참고문헌...134

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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