초록 ▼

산화물 고온 초전도체의 응용사 액체 질소 이상에서 운용되므로 경제적이고, 초전도체의 고유특성을 이용하면 정보통신, 수송, 에너지등의 전산업분야에 혁명을 가져올수 있다. 실제로 고온초전도체 응용분야에서 가장 기대되는 것이 ELECTRONICS 소자이다. 이와 같은 소자를 제작하기 위한 선결 조건이 고품질 초전도박막 제조이며 현재 각국에서 촌각을 다투며 보력하고 있고, 그 결과 많은 성과도 있으며 본 연구를 수행하는 동안 소기의 성과도 거두고 있다. 2차년도 과제에서는 양질의 고온 초전도체 박막을 제조한 후 SEM, XRD, ESCA,

산화물 고온 초전도체의 응용사 액체 질소 이상에서 운용되므로 경제적이고, 초전도체의 고유특성을 이용하면 정보통신, 수송, 에너지등의 전산업분야에 혁명을 가져올수 있다. 실제로 고온초전도체 응용분야에서 가장 기대되는 것이 ELECTRONICS 소자이다. 이와 같은 소자를 제작하기 위한 선결 조건이 고품질 초전도박막 제조이며 현재 각국에서 촌각을 다투며 보력하고 있고, 그 결과 많은 성과도 있으며 본 연구를 수행하는 동안 소기의 성과도 거두고 있다. 2차년도 과제에서는 양질의 고온 초전도체 박막을 제조한 후 SEM, XRD, ESCA, ICP,TC 측정장비등을 이용하여 박막의 특성을 조사하고, 이어서 공정 변수등을 변화시키면서 더나은 고품질 초전도 박막 제조에 힘쓰고 있다. 제조된 박막을 사용하여 PHOTOLITIOGRAPHY 및 식각공정을 통해 미세 STRIP-LINE를 만들고 OHNIC CONTACT을 시켜 초전도성이 훼손되거나 분화되는 선폭의 한계등을 연구하과 동시에 이를 기초로하여 초전도 배선 특성을 구현하기 위한 기본 TEST PATTERN 을 설계하고, 고주파 전파 현상을 관찰하기 위해 MODEL 및 SIMULATION 에도 하였다.

목차 Contents

• 제 1 장 서 론...19
• 제 2 장 박막성능향상연구...21
• 제1절 서론...22
• 제2절 본론...29
• 제3절 결론...44
• 제 3 장 포토리소그라피 및 예침특성조사...48
• 제1절 개요...48
• 제2절 본 론...51
• 제 4 장 저항성접촉의 특성조사...59
• 제1절 개요...59
• 제2절 실 험...60
• 제3절 결과...61
• 제5장 배선특성측정용 기본테스트 패턴설계...64
• 제1절 서론...64
• 제2절 본론...65
• 제3절 결론...73
• 참고문헌...75