초록 ▼

탄성 표면파 소자는 평판형 구조로 되어 있으며 크기가 소형이고 제작이 간편하여 칼라 TV용 VIF와 발진기, 공진기 등으로 널리 쓰이고 있으며 주로 사용되는 기판은 제조 가격이 비싸고 중심 주파수의 온도 계수가 큰 단점을 가지고 있는 단결정 LiNbO₃, LiTaO₃,Quartz 등이다. 본 연구에서는 이러한 단점을 보완할 수 있는 압전 세라믹스 중에서 0.05Pb(Sn(Low 1/2)Sb(Low 1/2))O₃-0.35PbTiO₃-0.60PbzrO₃ 조성의 압전 세라믹스를 택하여 전달 손실과 역수의 관계가 있는 기계적 품질 계수를

탄성 표면파 소자는 평판형 구조로 되어 있으며 크기가 소형이고 제작이 간편하여 칼라 TV용 VIF와 발진기, 공진기 등으로 널리 쓰이고 있으며 주로 사용되는 기판은 제조 가격이 비싸고 중심 주파수의 온도 계수가 큰 단점을 가지고 있는 단결정 LiNbO₃, LiTaO₃,Quartz 등이다. 본 연구에서는 이러한 단점을 보완할 수 있는 압전 세라믹스 중에서 0.05Pb(Sn(Low 1/2)Sb(Low 1/2))O₃-0.35PbTiO₃-0.60PbzrO₃ 조성의 압전 세라믹스를 택하여 전달 손실과 역수의 관계가 있는 기계적 품질 계수를 높이기 위하여 MnO₂를 첨가하였으머 결정립 경계에서의 산란 손실을 줄이기 위하여 Hotpress 법을 사용하여 시편을 제조하였다. 그 결과 기계적 품질 계수가 2000이상, 결정립크기 2[um]이하이고 이론 밀도의 98[%]이상인 치밀한 시편을 얻었다. 이 시편을 연마한 후에 속도 측정용 지연선 IDT를 입히고 탄성표면파 특성을 측정한 결과 Mn 0.4[Wt%]첨가 시 전기 기계 결합 계수 Ks²이 2.8[%]이고 온도 계수가 우수한 압전세라믹스가 개발되어 단결정 탄성표면파 소자를 대체할 수 있게 되었다.

목차 Contents

• 제1장 서론...15
• 제2장 압전세라믹스와 탄성표면파 이론...17
• 제1절 PSS-PZT와 PMN-PZT 및 불순물 첨가한 변성 3성분계...17
• 제2절 탄성표면파의 전파...22
• 제3절 IDT에 의한 여기 및 검출...23
• 제4절 IDT의 등가회로 모델...26
• 제5절 전기기계 결합 계수...28
• 제3장 핫프레스의 효과와 방법...30
• 제1절 핫프레스에 의한 제법...30
• 제2절 핫프레스의 효과...31
• 제3절 핫프레스의 방법...32
• 제4장 실험 및 측정...35
• 제1절 시편의 제작...35
• 제2절 시편의 구조적 전기적 특성 측정...37
• 제3절 Mask설계 및 지연선 제작...39
• 제4절 탄성표면파 특성 측정...40
• 제5장 결과 및 고찰...46
• 제1절 전기적 특성...46
• 제2절 구조적 특성...62
• 제3절 온도 안정성...85
• 제4절 지연선의 탄성표면파 특성...89
• 제6장 결론...101
• 참고문헌...103