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[국가R&D연구보고서] 신자성 박막재료의 개발;바리움 페라이트 수직자화막의 개발
A Study on Development of New Magnetic Thin Films On Barium Ferrite Thin Film with Perpendicular Magetic Anisotropy 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
연구책임자 이택동
참여연구자 나오에마사히꼬 , 나종갑 , 장평우 , 조영래
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1988-11
주관부처 과학기술부
연구관리전문기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
등록번호 TRKO200200003084
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 Ba-Ferrite 박막.고밀도 수직자기기록.대향타켓트형 스파터링기.Fe3이온의 Co2+Ti4로 치환.금속계 BaO + Fe 타켓트.D.C 스파터링 전원.

초록 ▼

육방정계 바륨페라이트 박막은 고밀도 수직자기기록용 매체로 최근에 개발되어 주목받고 있는 재료이다. 본 연구에서는 Baferrite 박막을 제조할 수 있는 대향타켓트형 스파터링기를 제작하였으며 이 기기를 사용하여 Ba-Ferrite 박막을 성막시키는데 있어서 Sputtering 조건 예를 들면 기판온도,스파터시간,타켓트 조성변화가 박막의 미세조직과 자기적 특성에 미치는 영향을 조사하였고 미세조직과 자기적 특성과의 상관관계를 조사하였다. 타켓트의 성분중 Fe(upper +3) Co(upper +2)+Ti(upper +4) 로 치환하였을

목차 Contents

  • 제1장 서 론...15
  • 제2장 육방정계 페라이트의 물성...18
  • 제1절 화학조성과 결정구조...18
  • 제2절 자기적 특성...24
  • 제3절 Ba-ferrite박막의 개발현황과 문제점...30
  • 제3장 실험방법...35
  • 제1절 스파터링기 제작...35
  • 제2절 실험방법...39
  • 제4장 실험결과 및 고찰...44
  • 제1절 금속-산화물 혼합타켓트의 결과...44
  • 제2절 산화물 타켓트의 결과...61
  • 제3절 $Co.Ti$치환 Ba-ferrite타게트의 결과...76
  • 제5장 결 론...80
  • 참고문헌...83

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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