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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
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연구책임자 | 백영준 |
참여연구자 | 이옥성 , 김정우 , 박범수 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1991-06 |
주관부처 | 과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200200003613 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 금강석.화학증착법.핵생성거동.Diamond.CVD.Nucleation.Growrh. |
다이아몬드의 특출한 성질을 이용하기 위한 기상합성기술은 세계적으로 태동기에 있다.본 연구의 목적은 다이아몬드의 실용화를 위해 가장 중요한 핵생성의 증진과,결정도와 긴밀한 관계를 갖는 형태조절 방법을 확립하는데 있다.이를 위해 표면처리 조건 및 증착조건에 따른 핵생성 거동과 성장속도,결정형태 변화를 관찰하고,이 결과를 열역학과 속도론적 관점에서 정리 하였다.핵생성 밀도 및 성장속도는 메탄량,필라멘트 온도,기체유량이 증가할수록 증가하였다.또 이들은 기판온도
- development of the mechanical treatment method of substrate surface to increase the nucleation dendity.
- investigation of the nucleation and growth behavior with deposition conditions.
- thermodynamic modeling of the driving force for the diamond synthesis.
- the effect of oxygen on the
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