초록 ▼

다이아몬드의 특출한 성질을 이용하기 위한 기상합성기술은 세계적으로 태동기에 있다.본 연구의 목적은 다이아몬드의 실용화를 위해 가장 중요한 핵생성의 증진과,결정도와 긴밀한 관계를 갖는 형태조절 방법을 확립하는데 있다.이를 위해 표면처리 조건 및 증착조건에 따른 핵생성 거동과 성장속도,결정형태 변화를 관찰하고,이 결과를 열역학과 속도론적 관점에서 정리 하였다.핵생성 밀도 및 성장속도는 메탄량,필라멘트 온도,기체유량이 증가할수록 증가하였다.또 이들은 기판온도 $900-1000^\circ C$사이에서 최대값을 보였다.이

다이아몬드의 특출한 성질을 이용하기 위한 기상합성기술은 세계적으로 태동기에 있다.본 연구의 목적은 다이아몬드의 실용화를 위해 가장 중요한 핵생성의 증진과,결정도와 긴밀한 관계를 갖는 형태조절 방법을 확립하는데 있다.이를 위해 표면처리 조건 및 증착조건에 따른 핵생성 거동과 성장속도,결정형태 변화를 관찰하고,이 결과를 열역학과 속도론적 관점에서 정리 하였다.핵생성 밀도 및 성장속도는 메탄량,필라멘트 온도,기체유량이 증가할수록 증가하였다.또 이들은 기판온도 $900-1000^\circ C$사이에서 최대값을 보였다.이 결과는 증착조건 변화에 따른 구동력 계산결과와 잘 일치한다.메탄과 수소의 혼합기체에 산소를 첨가하면 결정도는 향상되며,다이아몬드가 합성되는 메탄 농도의 상한도 증가한다.결정형태 역시 산소첨가에 따라 변화하는데,이것은 합성속도 변화와 밀접한 관계가 있다.

Abstract ▼

- development of the mechanical treatment method of substrate surface to increase the nucleation dendity.
- investigation of the nucleation and growth behavior with deposition conditions.
- thermodynamic modeling of the driving force for the diamond synthesis.
- the effect of oxygen on the

- development of the mechanical treatment method of substrate surface to increase the nucleation dendity.
- investigation of the nucleation and growth behavior with deposition conditions.
- thermodynamic modeling of the driving force for the diamond synthesis.
- the effect of oxygen on the growth rate of diamond.
- the effect of oxygen on the shape change of diamond.

목차 Contents

• 제1장 서론...15
• 제2장 문헌조사...18
• 제3장 실험방법...28
• 제4장 결과 및 고찰...31
• 제5장 결론 및 건의사항...74
• 참고문헌...77