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가스검지용 화학센서 개발(Ⅴ)
Development of Chemical Sensors for Gas Detection (V) 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
연구책임자 윤경석
참여연구자 주재백 , 조병원 , 조원일 , 이철환 , 김광진
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1990-11
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
등록번호 TRKO200200004402
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 센서.모스펫.고체전해질.문턱전압.기전력.박막.Sensor.MOSFET.Solide Electrolyte.EMF.Thin Folm.

초록 ▼

최근 공업용 및 가정용 가스의 사용이 급증함에 따라 가스의 누출방지를 위한 가수센서소자의 국산화 개발이 요구되고 있어, 본 연구에서는 금속물질인 팔라튬과 고체전해질인 LaF₃를 이용하여 센서소자를 제작하고 그소자의 전기적 특성 및 산소가스와 수소가스에 대한 전기적 응답 특성을 비교·검토하였다. LaF₃를 이용한 산소검지소자의 경우 소자를 증류수에 담근 후 산소를 주입하면 20~30 후에 약 90㎷의 기전력의 변화를 관찰할 수 있었으며 그 재생시간은 약 7시간이었다. 또한 Nernst식을 이용하면 용존산소의 검지기구기, 전자1개의 이

목차 Contents

  • 제1장 서론...12
  • 제1절 연구개말의 목적과 범위...12
  • 제2절 이론적 배경...13
  • 1. MOS 소자의 성질...13
  • 2. 가스 검지 기구...23
  • 제2장 실험...26
  • 제1절 실험장치...26
  • 1. MOS 소자의 제조장치...26
  • 2. MOS 소자의 특성 측정장치...30
  • 3. MOS 소자의 Packaging 장치...30
  • 4. 가스검지 실험장치...30
  • 제2절 실험방법...31
  • 1. MOS 소자의 제조실험...31
  • 2. 박막소자의 제조실험...39
  • 3. 가스검지 실험...43
  • 제3장 결과 및 고찰...46
  • 제1절 MOS 소자의 전기적 특성...46
  • 제2절 가스검지...49
  • 1. 수소가스의 검지...50
  • 2. 산소가스의 검지...62
  • 제4장 결론...74
  • 참고문헌...76
  • 부록...79

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참고문헌 (25)

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