초록

본 연구는 먼저 국.내외 탄화규소질 로재의 물리적 특성을 파악하고 입도 및 첨가제 등을 변화시키면서 물리적 특성을 조사하였다. 이들 기초자료를 이용하여 품질향상 및 양산화를 위한 공정, 장비등을 개선토록 하므로써 본 연구의 목적을 달성코자 하였다. 구체적인 연구내용으로는
SiC 로재로 사용되는 국.내외 SiC 붕판의 수집 및 성능분석
입도변화, 성형방법, 성형압 변화, 소성온도 변화등에 따른 특성향상 기초연구
양산화 장비의 설계 및 제작을 통한 공정의 개선
시작품의 생산 및 특성조사* 등이다.

Abstract ▼

The physical properties of domestic and foreign made SiC furnace materials, and the effect of size distribution, sintering temperature and sintering aids were investigated.
In order to obtain the research objectives, reform measurement on the mass production process for improving quality of SiC p

The physical properties of domestic and foreign made SiC furnace materials, and the effect of size distribution, sintering temperature and sintering aids were investigated.
In order to obtain the research objectives, reform measurement on the mass production process for improving quality of SiC plates and components was carried out.
The works include;
$\circ$ Collection and property analysis of SiC plates in domestic and foreign markets.
$\circ$ Basic material research for property improvement according to the variation of size distribution, forming methods and sintering temperature.
$\circ$ Fabrication and characteristic survey of the test SiC plate.

목차 Contents

• 제1장 서론...11
• 제2장 SiC 재료의 특성 고찰...15
• 2.1 SiC의 특성...15
• 2.2 SiC 재료의 제조공정 고찰...23
• 제3장 SiC재료의 기술현황 및 특성 조사...78
• 3.1 SiC붕판의 기술현황 조사...78
• 3.2 SiC붕판의 특성 조사...84
• 제4장 SiC붕판의 특성향상을 위한 기초 연구...96
• 4.1 원료와 실험방법...96
• 4.2 실험결과 및 고찰...101
• 4.3 결론...117
• 제5장 양산화 공정확립 및 성능 평가...120
• 5.1 제조공정의 개선...120
• 5.2 시작품 생산 및 특성 평가...138
• 5.3 공정별 관리 항목...153
• 5.4 기대효과...154
• 제6장 결론...157
• 참고문헌...161