초록 ▼

연구 개발 목표
가연성 가스 센서용 박막의 성분원소 정량 및 화학적 결합상태 분석방법 확립, 철강재료 및 알루미늄 재료 등에 함유되어 있는 원소들을 Spark Source Emission Spectrometry에 의하여 짧은 시간에 보다 정확하고 간편하게 분석할 수 있는 분석방법을 확립하는데 연구개발의 목표로 하였다.
단일상 또는 다중상의 결정구조, 표면, 계면 및 성분원소의 분석방법 개발
이온빔 공정 전후의 재료에 대한 정량 분석법 확립
박막 연구를 위한 분석법 확립
철강재료 및 알루미늄

연구 개발 목표
가연성 가스 센서용 박막의 성분원소 정량 및 화학적 결합상태 분석방법 확립, 철강재료 및 알루미늄 재료 등에 함유되어 있는 원소들을 Spark Source Emission Spectrometry에 의하여 짧은 시간에 보다 정확하고 간편하게 분석할 수 있는 분석방법을 확립하는데 연구개발의 목표로 하였다.
단일상 또는 다중상의 결정구조, 표면, 계면 및 성분원소의 분석방법 개발
이온빔 공정 전후의 재료에 대한 정량 분석법 확립
박막 연구를 위한 분석법 확립
철강재료 및 알루미늄 재료의 직접분석 방법 확립
연구 내용
철강 및 알루미늄 소재 중의 주.부성분을 비파괴적으로 분석하였으며 가연성 가스센서용으로 제작된 주석산화물의 성분원소를 깊이에 따라 정량하고 화학적 결합상태를 확인하였다. 센서용으로 제작된 주석산화물의 성분원소를 깊이에 따라 정량하고 화학적 결합상태를 확인하였따
방전시간, 방전빈도수, Radio Frequency Power에 의한 들뜸 조건에 미치는 영향을 조사하고
다른 분석원소에 의한 매트릭스 효과를 연구하였으며
선형방법 및 비선형방법에 의한 매트릭스 계수를 계산하여 비파괴법으로 신속하고 정확하게 분석하는 방법에 대해 연구하였다.
SnO/sub 2/ 박막을 제조하고
하전현상을 줄이는 연구를 하였으며
XPS, XRD, AES를 이용하여 결합상태를 분석하여 정성 분석하고
깊이에 따른 박막을 정량 분석하고 박막의 특성에 대해 연구하였다.

Abstract ▼

The chemical ingredients in steel and aluminum metals have been determined by non-destructive OES method pursuiting the following works.
1. The effect of discharge time, discharge frequency, raid frequency power on the excitation condition were studied.
2. Interference effect from sample matri

The chemical ingredients in steel and aluminum metals have been determined by non-destructive OES method pursuiting the following works.
1. The effect of discharge time, discharge frequency, raid frequency power on the excitation condition were studied.
2. Interference effect from sample matrix was studied.
3. Two of the matrix correction method (linear and curvilinear) were studied and the analytical results by the too method were compared.
for surface analysis, $SnO_2$ film was chosen and the following work were studied.
4. $SnO_2$ film on Sn metal was prepared by a sputtering method.
5. A method to reduce the charge effect was investigated.
6. $SnO_2$ film was analyzed to identify the binding states by means of XPS, XRD and AES.
7. Chemical ingredients of the $SnO_2$ film was quantitatively determined by depth profiling, and the characteristics of the film were studied.

목차 Contents

• A. 철강 및 알루미늄 재료의 분석기법 연구...15
• 제 1 장 서론...15
• 제 2 장 실험...17
• 제 1 절 표준시료...17
• 제 2 절 분석기기...20
• 제 3 절 매트릭스 보정법...20
• 제 4 절 분석파장의 선택...21
• 제 5 절 습식법에 의한 분석...23
• 제 3 장 결과 및 고찰...25
• 제 1 절 Discharge frequency와 R.F. power가 들뜸 조건에 미치는 영향...25
• 제 2 절 매트릭스 계수의 계산...29
• 제 3 절 시료의 분석결과...40
• 제 4 장 결론...43
• B. $SnO_2$ 박막의 분석기법 연구...45
• 제 1 장 서론...45
• 제 2 장 실험...47
• 제 1 절 박막제조...47
• 제 2 절 시료준비...48
• 제 3 절 박막의 특성조사...48
• 제 3 장 결과 및 고찰...51
• 제 1 절 XPS의 분석결과...51
• 1.1 정성 및 정량 분석...51
• 1.2 하전현상 및 상태분석...55
• 제 2 절 AES의 분석결과...56
• 제 3 절 X-선 회절 시험...62
• 제 4 장 결론...64
• 참고문헌...65