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압전/전왜 세라믹스 액츄에이터 개발 (Ⅱ)
Development of Piezoelectric and Electrostrictive Ceramic Actuator (Ⅱ) 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
연구책임자 이전국
참여연구자 정형진 , 이동헌 , 박성의 , 윤상옥 , 박수인 , 박기훈 , 최승철 , 김한수
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1992-06
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
등록번호 TRKO200200005653
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 세라믹스 액튜에이터.압전.전왜.적층형.Ceramics Actuator.Piezoelectic.Electrostrictive.Multilayer.

초록 ▼

최근 광학기기, 정밀가공기, 반도체 공정기기 등에서 미세변위제어 소자인 액츄에이터가 필요하게 되었다. 종래의 전자기적 구동방식에 비해 세라믹스 액츄에이터는 정밀·소형·경량으로 진동 충격에 강하므로 센서기능을 겸비한 소자로 응용이 가능하다. 현재 액츄에이터로 사용되는 소재로는 압전 및 전왜 재료인데, 응답특성 및 온도안정성 증진, 유전특성의 향상이 연구 방향이다. 본 연구는 1차년도에 개발 합성된 PNN-PZT계 액츄에이터 재료를 이용하여 적층형 액튜에이터를 제조하였고, 내부 전극 연결에 필요한 미세절연층을 제조하여 전압-변위 특성을

목차 Contents

  • 제1장 서 론...17
  • 제2장 이론적 고찰...18
  • 제1절 서 론...18
  • 제2절 압전 이론...18
  • 제3절 압전 재료의 기본 물성...23
  • 제4절 압전 액츄에이터 디자인...34
  • 제5절 테이프 캐스팅...37
  • 제6절 유기 결합제...48
  • 제3장 실험 방법...53
  • 제4장 결과 및 고찰...60
  • 제1절 적층 액츄에이터...60
  • 제5장 결론...96
  • 제6장 앞으로 연구에 대한 제언...97
  • 참고문헌...98

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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