초록 ▼

Cryopump는 극고진공(약 10(High -10) Torr)분위기를 창출하는 진공펌프로서 다른 극고진공펌프(Turbo Molecular Pump, Ion Pump 등 )에 비해 운전의 안정성 및 경제성이 뛰어난 반도체 산업, 입자가속기, 핵융합연구 및 우주개발 등의 첨단과학 분야에 그 수요가 급증하고 있다. 본 연구는 두 분야로 나누어 시행하였는데 극저온 냉동기 개발은 한국기계연구소에서 , 펌프본체 최적설계는 포항공대이다. 극저온 냉동기의 개발에서는 Gifford-Mcmahon 냉동기의 최적설계와 이에대한 수치 시뮬레이션을 통하

Cryopump는 극고진공(약 10(High -10) Torr)분위기를 창출하는 진공펌프로서 다른 극고진공펌프(Turbo Molecular Pump, Ion Pump 등 )에 비해 운전의 안정성 및 경제성이 뛰어난 반도체 산업, 입자가속기, 핵융합연구 및 우주개발 등의 첨단과학 분야에 그 수요가 급증하고 있다. 본 연구는 두 분야로 나누어 시행하였는데 극저온 냉동기 개발은 한국기계연구소에서 , 펌프본체 최적설계는 포항공대이다. 극저온 냉동기의 개발에서는 Gifford-Mcmahon 냉동기의 최적설계와 이에대한 수치 시뮬레이션을 통하여 G-M냉동기 부품의 요소설계와 시스템 설계를 완료하여 G-M 냉동기의 시제품을 제작하여 성능시험을 하였다. 진공펌프 본체에 대해서는 희박가스의 유동현상에 대한 이론정립과 Pumping Speed 에 대한 이론해석, Baffle 의 최적설계 등을 연구하여 Cryopump 본체의 최적형상설계를 마무리 하였다.

목차 Contents

• 제1장 서론...14
• 제2장 극저온 냉동기의 최적설계...16
• 제1절 2nd stage의 설계...16
• 제2절 1st stage의 설계...20
• 제3장 극저온 냉동기의 설계 및 제작...22
• 제1절 왕복기...24
• 제2절 재생기...28
• 제3절 팽창기...29
• 제4절 구동장치...31
• 제5절 헬륨 압축기...33
• 제4장 시제품의 성능시험...35
• 제1절 성능시험 장치...35
• 제2절 성능시험 방법...38
• 제3절 결과 및 고찰...39
• 제5장 결론...47
• 참고문헌...48