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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
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연구책임자 | 손연수 |
참여연구자 | 정종화 , 정택모 , 강미숙 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1992-06 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200200005694 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 질화알루미늄.유기금속전구체.알루미늄전구체.Aluminum Nitride.Precursor.Aluminum Precursor. |
출발물질로 LiAlH₄를 사용하여 아민엄 MexNH₄ ̄x(x=1~3)와 반응시켜 함 알루미늄 중간체 Me₂NAlHx를 높은 수율로 합성하였다. 특히 x=2,3인 경우 즉 Me₂NAlH₂와 Me₃NAlH₃의 경우 승화성이 뛰어나기 때문에 순수한 상태로 정제가 가능했으며 이들 두 중간체와 액체 암모니아를 반응시켜 새로운 질화알루미늄 전구체 HAlNH와 HNAlNH₂를 얻을 수 있었다. 이들 전구체를 소성하면 고순도의 AlN을 얻을 수 있었다.
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