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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
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연구책임자 | 김희제 |
참여연구자 | 조연옥 , 이홍식 , 김광화 , 이형호 , 김익수 , 최병주 , 김광수 , 최영욱 , 노영수 , 진윤식 , 김영배 , 문인욱 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1992-05 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
등록번호 | TRKO200200006001 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 대출력 엑시머 레이저.전자빔 여기.막스전원.펄스 정형회로.진공 다이오우드.레이저 공진기.가이드 자장.High Power Excimer Laser.Electron Beam Excitation.Mark Generator.Pulse Forming Line.Vacuum Diode.Laser Resonator.Guiding Solenoid Coil. |
대출력 엑시머 레이저의 개발을 통하여 국내에서는 처음으로 고전압, 대전류 펄스정형 기술을 습득함은 물론 전자빔 여기방식의 엑시머 레이저의 메카니즘을 이해함과 동시에 설계 및 제작기술을 축적하게 되므로서 시스템 자체를 개발할 수 있게 되었다. 국내외의 기술정보를 조사하여 관련 자료수집을 행하였고, 이를 통하여 연구에 충실을 기하였다. 또 펄스 정형라인의 임피던스 정합을 시뮬레이션을 통하여 확인한 후 모델 엑시머 레이저의 설계 및 제작을 하였다. 전체의 시스템은 막스 전원, 펄스 정형회로, 스윗치 , 다이오우드, 레이저 공진기, 가이드
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