초록 ▼

대출력 엑시머 레이저의 개발을 통하여 국내에서는 처음으로 고전압, 대전류 펄스정형 기술을 습득함은 물론 전자빔 여기방식의 엑시머 레이저의 메카니즘을 이해함과 동시에 설계 및 제작기술을 축적하게 되므로서 시스템 자체를 개발할 수 있게 되었다. 국내외의 기술정보를 조사하여 관련 자료수집을 행하였고, 이를 통하여 연구에 충실을 기하였다. 또 펄스 정형라인의 임피던스 정합을 시뮬레이션을 통하여 확인한 후 모델 엑시머 레이저의 설계 및 제작을 하였다. 전체의 시스템은 막스 전원, 펄스 정형회로, 스윗치 , 다이오우드, 레이저 공진기, 가이드

대출력 엑시머 레이저의 개발을 통하여 국내에서는 처음으로 고전압, 대전류 펄스정형 기술을 습득함은 물론 전자빔 여기방식의 엑시머 레이저의 메카니즘을 이해함과 동시에 설계 및 제작기술을 축적하게 되므로서 시스템 자체를 개발할 수 있게 되었다. 국내외의 기술정보를 조사하여 관련 자료수집을 행하였고, 이를 통하여 연구에 충실을 기하였다. 또 펄스 정형라인의 임피던스 정합을 시뮬레이션을 통하여 확인한 후 모델 엑시머 레이저의 설계 및 제작을 하였다. 전체의 시스템은 막스 전원, 펄스 정형회로, 스윗치 , 다이오우드, 레이저 공진기, 가이드 자장 등으로 구성되며 막스 전원을 제외한 구성부품은 전부 자체기술로 설계, 제작하였다. 동작전압 400kV 및 동작 전압 3기압에서 펄스 폭 60ns, 최대출력 에너지 10 J을 얻으므로서 순간 출력 500MW를 얻어 1차년도 연구목표를 훌륭하게 달성했을 뿐만 아니라 우리나라 레이저 개발역사에 새로운 이정표를 세웠다.

목차 Contents

• 제1장 서 론...11
• 제2장 엑시머 레이저의 원리...13
• 제1절 엑시머 레이저의 발진 원리...13
• 제2절 전자빔 여기형식의 반복펄스형 엑시머 레이저의 구조...20
• 제3절 방전 여기형식의 반복펄스형 엑시머 레이저의 구조...22
• 제3장 반복펄스형 레이저 전원...28
• 제1절 고전압, 대전류 반복펄스형 전원의 구조...28
• 제2절 등가회로의 EMTP 모의 결과...32
• 제4장 엑시머 레이저의 설계 및 제작...37
• 제1절 레이저 장치의 구성...37
• 1.1 진공 다이오우드...37
• 1.2 공진기 셀...39
• 1.3 가이드용 자장...40
• 제2절 레이저 시스템의 설계 및 제작...41
• 제5장 특성실험 및 검토...49
• 제1절 모니터 시스템...49
• 1.1 전압 모니터...49
• 1.2 전류 모니터...51
• 1.3 출력 모니터...52
• 제2절 특성 실험 및 논의...53
• 2.1 출력특성의 측정...53
• 2.2 결과 및 검토...54
• 제6장 결 론...62
• 참고문헌...63
• 감사의글...67