$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

이온주입법을 이용한 표면개질 기술 개발
Development of Technique for Surface Modification by Ion Implantation 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
연구책임자 김현경
참여연구자 황정남 , 문대원 , 김경중 , 장홍규
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1993-05
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
등록번호 TRKO200200006772
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 이온주입.표면개질.철 이온.자성특성.이온선혼합.접합.ion implantation.surface modification.Fe ion.magnetic property.ion beam mixing.adhesion.

초록 ▼

=== 연구의 내용 및 범위 === 2년 6개월 동안의 연구기간 동안 수행된 주요 내용과 결과는 다음과 같다. \\ 고전류 수송을 위한 가속관의 재설계 및 제작과 진공 및 냉각장치의 개선을 통한 이온주입기의 선능향상 \\ 질소이온을 실리콘에 주입 및 특성 조사 : -질소이온을 에너지, 이온선량, 이온주입 온도를 변화시켜가면서 이온주입 -질소이온주입된 시료의 라만 산란, SIMS, XPS 실험 \\ 질소이온을 금속에 주입 및 특성 조사 : -Ti 시료에 질소이온 주입 및 특성 조사 -철강재료에 질소이온 주입 및 특성 조사 -질소이온이

목차 Contents

  • 제1장 이온주입 기술의 소개...13
  • 제1절 이온주입법의 소개...13
  • 제2절 세라믹에 이온주입...14
  • 제2장 철이온의 생성과 시료제작...16
  • 제1절 실험장치...16
  • 제2절 철이온의 인출...16
  • 제3절 시료제작과 이온조사...25
  • 제3장 철이온의 주입된 Al2O3의 특성...28
  • 제1절 콤퓨터 모의 실험...28
  • 제2절 Rutherford backscattering spectroscopy(RBS) 분석...31
  • 제3절 X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) 분석...34
  • 제4절 Vibrating Sample Magnetometer(VSM)과 SQUID측정...37
  • 제4장 이온선 혼합법을 이용한 계면의 접합 특성 향상 연구...45
  • 제1절 개괄...50
  • 제2절 이온선 혼합법에 의한 Cu/polyimide 의 계면 접착력 향상...54
  • 제3절 결론...69
  • 참고문헌...70
  • 제5장 결론...71

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로