선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국공기청정연구조합 Korea Air Cleaing Reaserching Association |
---|---|
연구책임자 | 김광영 |
참여연구자 | 임채환 , 권영창 , 박철현 , 차형우 , 홍성천 , 이경숙 , 강태석 , 김유택 , 김영호 , 신흥대 , 장도열 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1993-07 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국공기청정연구조합 Korea Air Cleaing Reaserching Association |
등록번호 | TRKO200200007060 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
=== 연구의 범위 === 본 연구에서는 초정밀 환경 제어 기술을 위한 초정밀 클린.항온.항습 Chamber의 설계, 제작, 성능 평가를 통하여 국산화 개발을 목표로 하였으며, 연구 범위는 다음과 같다. 1. 반도체 제조공정에 관한 연구 및 개발 모델 선정 2. 정상상태 냉동 사이클의 이론 해석 3. Test Chamber 내의 온도분포 이론 해석 4. Test Chamber내의 정상산태 냉.난방 부하 계산 5. 초정밀 클린.항온.항습 장치의 설계 및 제작 6. 제작된 시제품에 대한 성능 평가
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.