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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국지질자원연구원 Korea Institute of Geoscience and Mineral Resources |
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연구책임자 | 이경애 |
참여연구자 | 성학제 , 김건한 , 정강섭 , 황윤옥 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1992-12 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국지질자원연구원 Korea Institute of Geoscience and Mineral Resources |
등록번호 | TRKO200200007673 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 주사전자현미경.표면분석.SEM/EDX.Surface analysis. |
EDS system을 장착한 주사전자현미경은 생체시료를 비롯한 각종 무기소재류의 Morpology 관찰과 국소부위의 조성분석에 유용하게 사용될 수 있다. 본 연구에서는 주사전자현미경을 이용한 각종시료에 대한 분석시 고려해야 할 사항들(Acc. voltage, Working distance, Current, App.size, etc.)과 image 사이의 상관성을 조사하여 최적의 조건을 도출해 낼 수 있도록 하였다.
또한, EDS분석은 background 및 matice effect를 고려한 Correction method를
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