초록 ▼

EDS system을 장착한 주사전자현미경은 생체시료를 비롯한 각종 무기소재류의 Morpology 관찰과 국소부위의 조성분석에 유용하게 사용될 수 있다. 본 연구에서는 주사전자현미경을 이용한 각종시료에 대한 분석시 고려해야 할 사항들(Acc. voltage, Working distance, Current, App.size, etc.)과 image 사이의 상관성을 조사하여 최적의 조건을 도출해 낼 수 있도록 하였다.
또한, EDS분석은 background 및 matice effect를 고려한 Correction method를

EDS system을 장착한 주사전자현미경은 생체시료를 비롯한 각종 무기소재류의 Morpology 관찰과 국소부위의 조성분석에 유용하게 사용될 수 있다. 본 연구에서는 주사전자현미경을 이용한 각종시료에 대한 분석시 고려해야 할 사항들(Acc. voltage, Working distance, Current, App.size, etc.)과 image 사이의 상관성을 조사하여 최적의 조건을 도출해 낼 수 있도록 하였다.
또한, EDS분석은 background 및 matice effect를 고려한 Correction method를 적용시켜 보다 정확한 조성분석이 가능하도록 하였다. 아울러 시료전처리 및 장비 사용시 일반적으로 간과하기 쉬운 문제점도 함께 다루어 보다 정밀한 분석이 이루어지도록 하였다.

목차 Contents

• I. 서론...11
• 1.1. Electron gun의 thermionic emission...12
• 1.2. Tungsten cathode...20
• 1.3. Electron lenses...21
• 1.4. Electron-Beam interation...22
• 1.5. Interaction volume...23
• 1.6. Backscattered electrons...26
• 1.7. Secondary electrons...29
• 1.8. Energy Dispersive X-Ray Spectrometer (EDS)...30
• II. 실험...33
• 2.1. SEM과 Microanalysis를 위한 코팅 (Coating)...35
• 2.2. SEM 측정...39
• 2.3. EDX 측정...44
• III. 결과 및 고찰...48
• 3.1. SEM과 X-ray Microanalysis를 위한 시료 준비...48
• 3.2. SEM 측정...54
• 3.3. EDS 분석...61
• References...79