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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국화학연구원 Korea Research Institute of Chemical Technology |
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연구책임자 | 이정민 |
참여연구자 | 이수복 , 김희영 , 고재천 , 진항교 , 한명환 , 김광제 , 김철웅 , 소원옥 , 이광원 , 박병기 , 이재송 , 박동순 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1993-09 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국화학연구원 Korea Research Institute of Chemical Technology |
등록번호 | TRKO200200007686 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 실리콘.메틸염화실란.삼염화실란.수소화반응.반도체.Silicone.TCS.MCS.Hydrogenation.Semiconductor. |
본 연구는 유기 Silicome 및 무기Silicon 제조를 위한 원료인 삼염화실란(TCS)과 메틸염화실란(MCS) 제조공정 기술개발에 있고, 당해년도 연구에서는 반도체급 TCS(S.C. TCS)의 제조공정, MCS 제조공정 및 폐기물 처리방법을 확립하고, 확립된 공정에 대한 경제성 검토를 통해 타당성 평가를 실시하며, 본격적인 상업화 생산에 필요한 Miniplant의 투자비를 산정하는데에 있다.
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