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소재공정기술개발;Trichlorosilane 및 Silicone 제조공정 개발
Studies on Process Development of Chemical Materials;Development of Manufacturing Process of Trichlorosilane and Silicone 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국화학연구원
Korea Research Institute of Chemical Technology
연구책임자 이정민
참여연구자 이수복 , 김희영 , 고재천 , 진항교 , 한명환 , 김광제 , 김철웅 , 소원옥 , 이광원 , 박병기 , 이재송 , 박동순
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1993-09
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국화학연구원
Korea Research Institute of Chemical Technology
등록번호 TRKO200200007686
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 실리콘.메틸염화실란.삼염화실란.수소화반응.반도체.Silicone.TCS.MCS.Hydrogenation.Semiconductor.

초록

본 연구는 유기 Silicome 및 무기Silicon 제조를 위한 원료인 삼염화실란(TCS)과 메틸염화실란(MCS) 제조공정 기술개발에 있고, 당해년도 연구에서는 반도체급 TCS(S.C. TCS)의 제조공정, MCS 제조공정 및 폐기물 처리방법을 확립하고, 확립된 공정에 대한 경제성 검토를 통해 타당성 평가를 실시하며, 본격적인 상업화 생산에 필요한 Miniplant의 투자비를 산정하는데에 있다.

목차 Contents

  • PART I. TCS 제조 공정...23
  • 제1장. 서론...23
  • 제1절. 기술 개발 동향...23
  • 제2정. 국내외 시장 동향...24
  • 제2장. TCS 제조 공정...27
  • 제1절. 반응 공정 고찰 및 확립...27
  • 1-1. Hydrochlorination 반응 공정...27
  • 1-2. Hydrogenation 반응 공정...29
  • 1-3. TCS 제조 공정 확립...30
  • 제2절. 분리 정제 고찰 및 확립...31
  • 제3절. 제조 공정 설계...33
  • 3-1. 공정 설명...33
  • 3-2. 공장 규모 선정...41
  • 3-3. 설계 기준...42
  • 3-4. Process flow diagram...44
  • 3-5. 장치 설계...44
  • 제3장. 상업적 공장의 경제성 검토...65
  • 제1절. 총투자비...65
  • 1-1. Hydrochlorination process...65
  • 1-2. Hydrogenation process...81
  • 제2절. 제조원가...93
  • 2-1. Hydrochlorination process...93
  • 2-2. Hydrogenation process...100
  • 제3절. 수익성 검토...105
  • 3-1. Hydrochlorination process...106
  • 3-2. Hydrogenation process...108
  • 제4장. Miniplant 투자비 산정...111
  • 제1절. Miniplant 건설의 필요성...111
  • 제2절. 공정 설계 및 견적...112
  • 2-1. Basis...112
  • 2-2. 반응기 설계...116
  • 2-3. Distillation...117
  • 2-4. 견적...124
  • 제3절. 총투자비 산정...130
  • 3-1. 시설 투자비...130
  • 3-2. 운전 비용...130
  • 제5장 결론...135
  • 참고문헌...136
  • PART II. 메틸 염화 실란(MCS) 제조 공정...139
  • 제1장. 서론...139
  • 제1절. 기술 개발 동향...139
  • 제2절. 국내외 시장 동향...142
  • 제2장. MCS 제조 공정...149
  • 제1절. 반응 공정 고찰 및 확립...149
  • 제2절. 분리 정제 고찰 및 확립...153
  • 제3절. 제조 공정 설계...155
  • 3-1. 공정 설명...155
  • 3-2. 공장 규모 선정...161
  • 3-3. 설계 기준...162
  • 3-4. Process flow diagram...164
  • 3-5. 장치 설계...169
  • 제3장. 상업적 공장의 경제성 검토...183
  • 제1절. 총투자비...183
  • 제2절. 제조원가...191
  • 제3절. 수익성 검토...194
  • 제4장. Miniplant 투자비 산정...195
  • 제1절. Miniplant 건설의 필요성...195
  • 제2절. 공정 설계 및 견적...196
  • 제3절. 총투자비 산정...196
  • 제5장. 결론...205
  • 참고문헌...206
  • PART III. 염화 실란 폐기물 처리...207
  • 제1장. 서론...207
  • 제2장. 염화 실란 처리 방법...209
  • 제3장. 공정 설계...211
  • 제1절. 대상 폐기물 선정...211
  • 제2절. 공정 및 장치 설계...211
  • 제4장. 실험 결과 및 분석...221
  • 제5장. 상업적 규모 처리 공정 설계...223
  • 제6장. 결론...228
  • 참고문헌...228

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참고문헌 (25)

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