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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
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연구책임자 | 은광용 |
참여연구자 | 백영준 , 이욱성 , 이광렬 , 박범수 , 강종무 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1992-05 |
주관부처 | 과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200200007949 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 막상다이아몬드.고속합성.대면적합성.DC PECVD.WFCVD.CVD Diomond.Rapid Synthesis.Large Area Synthesis.DCPECVD.WFCVD. |
다이아몬드의 기상합성기술은 다이아몬드의 특출한 기계적, 화학적, 물리적 성질을 공업적으로 이용하기 위해 확보해야할 중요한 기술이다. 본 기술의 실용화를 위해서 합성의 경제적 제고를 위한 고속화 대면적화 합성기술의 개발이 필요하며, 본 연구는 이를 목표로 하였다. WF CVD에서 유기용매와 EA CVD를 이용한 고속합성, WF CVD를 이용한 대면적 합성을 위한 필라멘트 안정화기술, EA CVD를 이용한 고속합성기술의 안정화를 연구하였다. WF CVD에서 아세톤을 이용한 합성과 메탄, 수소, 산소의 혼합개스를 이용한 합성을 비교 연구
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