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청색 LED, LD 용 반도체 개발
Development of Semiconductors for Blue LED and LD 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
연구책임자 서상희
참여연구자 장수경 , 김진상 , 문성욱 , 김긍호 , 김문덕 , 송종형 , 김재환 , 심은덕
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1995-08
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
등록번호 TRKO200200007985
DB 구축일자 2013-04-18

초록 ▼

연구 내용 및 주요 결과
1) RHEED 부착, HgSe 박막성장을 위한 MBE 장치 제작
2) Planar 도핑. n-형의 경우 도핑농도가 증가하고 박막 결정성 향상. Panar p-형 도핑의 경우에 운반자 농도 약간 증가
3) ZnSSe 박막의 DCX 반치폭: 140arcsec
4) ZnMgSSe 박막의 성장 및 결정성 증가 방안 연구
5) X-TEM으로 ZnSe계 박막의 결함 분석. 완충층의 존재와 성장온도, 도핑방법이 결함 밀도와 양자 우물의 계면 평활도에 영향을 미침. Planar 도핑

목차 Contents

  • 제1장. 서 론...13
  • 제2장. 실험장치 및 방법...15
  • 제3장. 연구결과 및 고찰...19
  • 가. RHEED 에 의한 박막의 성장상태 분석...19
  • 나. ZnSe 계박막의 도핑에관한 연구...35
  • 다. ZnSSe박막의 성장...56
  • 라. ZnMgSSe박막의 성장...68
  • 제4장. P-ZnSe의 ohmic contact 물질로서 HgSe 의 성장조건 및 전기적 특성(위탁과제)...81
  • 가. 서 론...81
  • 나. 성장 방법...81
  • 다. 성장 조건...83
  • 라. 성장 결과...86
  • 마. 전기적 특성...86
  • 바. 결 론...89
  • 제5장. 결 론...91
  • 제6장. 참고문헌...93

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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