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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 염봉진 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1995-00 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200200008805 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 품질공학(로버스트 설계).통계적 공정관리.공간적 패턴 분석.공간적 적응절차.의사결정지원시스템.일정계획.작업투입.생산관리.Quality Engineering(Robust Design).Statistical Process Control.SpatialPattern Analysis.Spatial Adaptation Procedure.Decision Support System.Scheduling.Lot Release Control.Production Control. |
◆공정최적화 시스템개발 ·반도체 제조 공정의 특수성을 로버스트 설계 방법의 개발 ·simulator를 이용한 집적회로의 로버스트 설계 방법의 개발 ·변동의 원인별 파악을 위한 관리도법, 모니터링 데이터의 분석, spatial pattern analysis 등의 온라인 공정관리 기법의 개발 ·로버스트 설계 온라인 공정관리 기법의 개발
◆후공정 및 뱃칭공정의 스케쥴링 기술 개발 ·신경회로망을 이용한 뱃칭공정의 뱃치크기 결정 ·뱃칭공정기계들로 구성된 흐름공정의 일정계획을 수립·반복투입흐름을 고려한 웨이퍼 FAB의 일정계획을 수립
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