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적외선 감지용 초전 센서 및 array 제조
Fabrication of a pyroelectric sensor and array for detecting infrared ray 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
연구책임자 김종희
참여연구자 천성순 , 주웅길 , 위당문 , 최시경 , 이원종 , 노광수
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1997-01
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
등록번호 TRKO200200008811
DB 구축일자 2013-04-18

초록

목차 Contents

  • 제 1 장 서론...25
  • 제 2 장 문헌조사...27
  • 제 1 절 $Pt$ 기판 제작 연구...27
  • 1-1. $Si$ 기판의 morphology를 이용한 연구 - Graphoepitaxy...27
  • 1-2. 다층구조의 기판을 이용한 연구...27
  • 1-2-1. $(100)Pt/(100)MgAl_2O_4/(100)Si$...28
  • 1-2-2. $(100)Pt/(100)Pd/(100)Cu/(100)Si$...28
  • 1-2-3. $(100)Pt/(100)Pd/(100)/CaF_2/(100)Si$...28
  • 1-2-4. $(100)Pt/(100)MgO/(100)Si$...29
  • 제 2 절 초전 센서의 원리 및 특성...30
  • 2-1. 적외선 센서의 종류...30
  • 2-1-1. 열적외선 센서...30
  • 2-1-2. 양자형 센서...31
  • 2-2. 초전센서...31
  • 2-2-1. 기본동작...31
  • 2-2-2. Responsity...33
  • 2-2-3. Figures of merit...37
  • 2-2-4. Noise...39
  • 2-2-5. Noise equivalent power와 Detectivity...40
  • 제 3 장 Sputtering 법을 이용한 기판용 $Pt$ 박막의 증착에 관한 연구...41
  • 제 1 절 실험방법...41
  • 제 2 절 결과 및 고찰...44
  • 2-1. $MgO$ 박막의 증착특성...44
  • 2-1-1. RF power에 따른 $MgO$ 박막의 증착특성...45
  • 2-1-2. 증착온도에 따른 $MgO$ 박막의 증착특성...47
  • 2-1-3. 증착압력에 $MgO$ 박막의 증착특성...50
  • 2-1-4. 산소의 유입비율에 $MgO$ 박막의 증착특성...52
  • 2-1-5. RTA 처리에 $MgO$ 박막의 특성 변화...53
  • 2-2. $MgO$ 박막위에 증착된 $Pt$ 박막의 증착특성...53
  • 2-2-1. RF power에 따른 $Pt$ 박막의 증착특성...57
  • 2-2-2. $MgO$ 박막의 두께에 따른 $Pt$ 박막의 증착특성...57
  • 제 4 장 ECR enhanced sputtering 장비의 제작 및 P(L)T 재료의 증착 및 특성 분석...70
  • 제 1 절 ECR enhanced 4-target dc/rf magnetron sputtering system 제작...70
  • 1-1. Chamber...70
  • 1-2. ECR plasma 발생장치...70
  • 1-3. Substrate Heater...72
  • 1-4. 4개의 metal target...72
  • 1-5. Pumping system...74
  • 1-6. Gas feeding system...74
  • 1-7. Plasma guide...75
  • 제 2 절 ECR enhanced sputtering 방법에 의한 P(L)T 박막증착...75
  • 2-1. 실험방법...75
  • 2-1-1. 박막제조...75
  • 2-1-2. 박막분석...76
  • 2-2. $PbTiO_3$ 박막 예비 증착 실험...78
  • 2-3. $PbTiO_3$ 박막의 증착 특성...82
  • 2-4. PLT 박막의 증착 특성...92
  • 2-4-1. $La$ target power 변화에 따른 특성...92
  • 2-4-2. $Ti$ target power 변화에 따른 특
  • 제 5 장 ECR CVD 방법에 의한 PLT 박막 증착...112
  • 제 1 절 실험방법...112
  • 제 2 절 PLT 박막 증착 실험결과...114
  • 제 6 장 결론...120
  • 참고문헌...123

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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