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NTIS 바로가기주관연구기관 | 충남대학교 Chungnam National University |
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연구책임자 | 李鴻魯 |
참여연구자 | 權赫相 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1992-09 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 충남대학교 Chungnam National University |
등록번호 | TRKO200200013000 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | TiS₂전극.고체전해질.고체박막전지.이온전도도.방전용량.OCV.TiS₂film.solid electrolyte.Open cell voltage.ion conductivity. |
최근 반도체 소자가 고속화, 고밀도화 및 미세화 되어가는 경향에서 고성능 소자가 작은 chip으로 집약되고 있는데 이러한 고성능 반도체 소자의 구동전원으로서 초소형 박막 고체전지를 개발한다면 임의의 회로기판 상에 일정한 면적을 갖는 고체전지를 형성시켜 타기능 소자와 복합되어 효율적으로 사용 가능하게 된다. 본 연구에서는 박막전극용 TiS? 전극을 개발하고 고성능 박막 고체전해질을 개발하는데 그 목적이 있다. TiS? 박막을 제조하기 위하여 TiCl?와 H?S를 기상반응 시켜 Ar 캐리어 가스로 glass 기판위에 석출시킨다.
This research is aimed at developing(110) preferred TiS? cathode films and glass typed solid electrolytes which have high ionic migrations and low electron conductivities for thin secondary solid batteries. To forming preferred orientated TiS? thin films on substrates by CVD method using TiCl?/H?S
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