초록 ▼

대량생산에 보다 적합한 실리콘 압력센서는 심장계통의 압력감시, 제조산업 과정의 자동화 및 자동차의 전자엔진 제어등에 응용될 수 있어서 많이 연구되고 있다.
전단 압저항 효과와 전단 응력을 이용하는 실리콘 압력센서는 네 변이 고정된 실리콘 다이아프램 위에 P 형 확산저항을 형성하여 만들었다. 이를 위하여 다이아프램상의 응력분포를 구하고 최대응력이 나타나는 위치에 불순물을 확산하여 저항을 형성하였다. 실리콘 다이아프램을 만들기 위하여 이방성 부식액과 P-N 접합 부식정지법을 이용하였다. 이 알력센서의 온도보상을 위한 방법도

대량생산에 보다 적합한 실리콘 압력센서는 심장계통의 압력감시, 제조산업 과정의 자동화 및 자동차의 전자엔진 제어등에 응용될 수 있어서 많이 연구되고 있다.
전단 압저항 효과와 전단 응력을 이용하는 실리콘 압력센서는 네 변이 고정된 실리콘 다이아프램 위에 P 형 확산저항을 형성하여 만들었다. 이를 위하여 다이아프램상의 응력분포를 구하고 최대응력이 나타나는 위치에 불순물을 확산하여 저항을 형성하였다. 실리콘 다이아프램을 만들기 위하여 이방성 부식액과 P-N 접합 부식정지법을 이용하였다. 이 알력센서의 온도보상을 위한 방법도 검토하였다.

Abstract ▼

Stress distributions on a silicon diaphragm having built-in edges have been calculated using a computer. The pressure sensors using shear piezoresistance coefficient and shear stress have been designed fabricated. To produce silicon diaphragms with uniform and constant thickness, P-N junction etch-s

Stress distributions on a silicon diaphragm having built-in edges have been calculated using a computer. The pressure sensors using shear piezoresistance coefficient and shear stress have been designed fabricated. To produce silicon diaphragms with uniform and constant thickness, P-N junction etch-stop technique was studied. Bridge-type sensor using p-type resistors have been fabricated and its characteristics were investigated. the characteristics of the sensors utilizing shear piezoresistance effect were examined. The temperature compensation method was studied in order to improve the stability of device.

목차 Contents

• 1. 서 론...9
• 2. 이 론...16
• 2.1 압저항 효과...16
• 2.2 다이아프램상의 응력분포...20
• 3. 실 험...25
• 3.1 붕소의 확산...25
• 3.2 실리콘의 부식 및 다이아프램의 제작...29
• 3.3 소자의 제조...38
• 3.3.1 브리지형의 센서...44
• 3.3.2 전단 압저항형의 센서...44
• 3.4 온도의 보상...45
• 3.5 측 정...46
• 3.5.1 확산층의 집합의 깊이 및 면저항...46
• 3.5.2 압력 특성...47
• 4. 결과 및 고찰...48
• 4.1 소자의 특성...48
• 4.1.1 브리지형의 센서...48
• 4.1.2 전단 압저항형의 센서...49
• 4.2 온도 특성...50
• 5. 결 론...53