초록 ▼

극히 최근에 알려진 표면 및 박막분석장비로써 국외에서는 다양한 연구실혐에 사용 되고 있으나 국내에서는 아직 널리 알려져 있지 않은 분광타원해석기를 제작하였다. 이미 국외의 대학이나 여구소등지에서 제작되어 가동중인 몇가지 형들과 상업적으로 시판중인 형들을 비교검토하여 이들의 장점을 취하고 현재 국내여건을 감안한 형을 구성하였다. 고속도, 고정밀도를 가지면서 자동제어, 자동조정기능을 갖춘 분광타원해석기를 설계하여 그 타당성을 조사하였다. RP형 SE와 RA형 SE를 각각 구성하여 각각의 장단점을 검토하였으며 현재 RA형 SE로써 작동중

극히 최근에 알려진 표면 및 박막분석장비로써 국외에서는 다양한 연구실혐에 사용 되고 있으나 국내에서는 아직 널리 알려져 있지 않은 분광타원해석기를 제작하였다. 이미 국외의 대학이나 여구소등지에서 제작되어 가동중인 몇가지 형들과 상업적으로 시판중인 형들을 비교검토하여 이들의 장점을 취하고 현재 국내여건을 감안한 형을 구성하였다. 고속도, 고정밀도를 가지면서 자동제어, 자동조정기능을 갖춘 분광타원해석기를 설계하여 그 타당성을 조사하였다. RP형 SE와 RA형 SE를 각각 구성하여 각각의 장단점을 검토하였으며 현재 RA형 SE로써 작동중이다. 자연산화막이 있는 규소 또는 여러 박막층이 있는 반도체시료, 광학소자등의 표면이나 표면의 박막을 분석중이며 앞으로 in-situ, real time분석에 응용을 고려중이다. 또한 장비타체의 성능을 향상시킬수 있는 방법, 예를들면 RA, RP형 SE, achromatic compensator를 사용한 타원해석상수의 부호결정등에 관한 연구도 계속되어야 할 것이다.

목차 Contents

• 목차(본문)...4
• 1. 서론...5
• 2. SE 이론...6
• 2.1 이상적인 시스템...6
• 2.1.1 회전편광자 (Rotating Polarizer, RP)형 SE...6
• 2.1.2 회전검광자 (Rotating Analyzer, RA)형 SE...8
• 2.2 오차 분석...9
• 2.2.1 optical activity effect...9
• 2.2.2 Backgroun DC level...12
• 2.2.3 Lighe Source Residual Polarization and Monochromator, Detector / Polarization Effect...13
• 2.3 Calibration...15
• 2.3.1 Residual calilbration...15
• 2.3.2 Phase-angle calibration...17
• 3. 제작 및 성능 평가...18
• 3.1 제작...18
• 3.2 성능평가...20
• 3.3 광학박막분석에의 응용...21
• 4. 결론...23