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NTIS 바로가기주관연구기관 | 아주대학교 Ajou University |
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연구책임자 | 김상열 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1992-06 |
주관부처 | 과학기술부 |
연구관리전문기관 | 아주대학교 Ajou University |
등록번호 | TRKO200200013863 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | Spectroscopic Ellipsometer.Rotating Analyzer.Fourier Transform Polarization.Thin Film and Surface Characterization. |
극히 최근에 알려진 표면 및 박막분석장비로써 국외에서는 다양한 연구실혐에 사용 되고 있으나 국내에서는 아직 널리 알려져 있지 않은 분광타원해석기를 제작하였다. 이미 국외의 대학이나 여구소등지에서 제작되어 가동중인 몇가지 형들과 상업적으로 시판중인 형들을 비교검토하여 이들의 장점을 취하고 현재 국내여건을 감안한 형을 구성하였다. 고속도, 고정밀도를 가지면서 자동제어, 자동조정기능을 갖춘 분광타원해석기를 설계하여 그 타당성을 조사하였다. RP형 SE와 RA형 SE를 각각 구성하여 각각의 장단점을 검토하였으며 현재 RA형 SE로써 작동중
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