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실리콘 및 갈륨비소 결정 반도체 내 수소의 물성연구
Study of Physical Properties of Hydrogen in Crystalline Si and GaAs 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
연구책임자 장기주
참여연구자 이인호 , 정병호
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1992-02
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
등록번호 TRKO200200013938
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 반도체.실리콘.갈륨비소.수소.비활성화.확산 semiconductors.Si.GaAs.H.passivation.diffusion.hydrogen.Si.GaAs.pessivation.diffusion.

초록

결정질 실리콘 및 갈륨비소 내의 수소 결합의 특성을 제일 원리 쑤도포 텐셜 방법으로 연구했다. 여러 가지 수소의 위치를 single 또는 double acceptor 근처에서 조사했다. double acceptor 와 host 물질이 이루는 마름모의 중앙위치인 C 위치에 수소가 있을 때 H-double 및 2H-double acceptor 합성체의 가장 안정한 구조였다. 더우기 이러한 double acceptor 는 2H-double acceptor 합성체를 형성하여 완전히 비활성화된다. Be 원자가 Ga 원자를 대신하는 경우는

Abstract

The nature of hydrogen bonding in cryatalline Si and GaAs is investigated using first-principles self-consistent psedopotential method. The energetics of various hydrogen interstitial position are studied for single and double acceptor impurities in Si and GaAs.
For monatomic- and diatomic-hydro

목차 Contents

  • 목차(본문)...5
  • 1. 연구 목적, 내용 및 방법...6
  • 1.1 연구목적...6
  • 1.2 연구 내용 및 방법...7
  • 2. 연구 결과...11
  • 2.1 Be 원자가 첨가된 실리콘 내 수소의 물리적 특성에 대한 연구...11
  • 2.2 Be 원자가 첨가된 갈륨비소(GaAs) 내의 수소의 특성 연구...13
  • 2.3 Ga-antisite 주위의 수소 특성 연구...15
  • 2.4 갈륨비소 내의 수소 결합 이론...16
  • 2.5 실리콘과 갈륨비소 내 수소 확산에 대한 연구...17
  • 3. 인용문헌...18
  • 4. 논문 발표 실적 또는 계획...20
  • 4.1 논문 발표 실적...20
  • 4.2 계획...21
  • 5. 학위 배출 실적...22
  • 5.1 석사 학위...22

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참고문헌 (25)

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