초록

DLTS는 trnsient capacitance를 측정함으로써 깊은 준위 트랩에 관한 정보가 들어있는 spectroscopic한 데이타를 제시한다. 본 연구에서는 기존의 DLTS 측정 system을 개량하여 출력 신호의 S/N비와 온도측에 대한 spectrum분리도 개선을 Boonton측정기 없이 system hardware적으로 구상 제작하였다.

Abstract

DLTS can give thespectroscoic data which include information on deep level traps by measuring of trasient capacitance. In thls study a new DLTS meclrauring sustem is proposed which improves the S/N ratlo of the output signal and spectrum selectivity without Bonton capacitance meter.

목차 Contents

• 1. 서론...7
• 2. DLTS 원리...8
• 3. DLTS 장치의 제작...26
• 4. 특정 알고리즘...40
• 5. 결론 및 검토사항...43
• 참고문헌...47