초록 ▼

Hall 효과를 이용하는 자기 센서는 비접촉, 무접촉 스위치의 기능과 Hall 전압이 자속 밀도에 비례하는 성질을 이용하여 공장 및 업무 자동화 등의 자동화 처리 장치에서 제어 시스템의 중요한 구성 요소로 사용되어지며 또한 가전제품, 자동차 등에의 응용은 그 수요가 급속히 증가되어가고 있다. 자계는 벡터이기 때문에 임의의 자장을 검출하기 위해서는 3차원적인 측정이 이루어져야 한다. 그런데, 상용되고 있는 자기감지 소자들은 자장의 한 성분만을 감지할 수 있기 때문에 자장을 측정할 때에는 소자를 자장에 대하여 정확한 각도에 놓지 않

Hall 효과를 이용하는 자기 센서는 비접촉, 무접촉 스위치의 기능과 Hall 전압이 자속 밀도에 비례하는 성질을 이용하여 공장 및 업무 자동화 등의 자동화 처리 장치에서 제어 시스템의 중요한 구성 요소로 사용되어지며 또한 가전제품, 자동차 등에의 응용은 그 수요가 급속히 증가되어가고 있다. 자계는 벡터이기 때문에 임의의 자장을 검출하기 위해서는 3차원적인 측정이 이루어져야 한다. 그런데, 상용되고 있는 자기감지 소자들은 자장의 한 성분만을 감지할 수 있기 때문에 자장을 측정할 때에는 소자를 자장에 대하여 정확한 각도에 놓지 않으면 안된다. 이러한 불편을 없애기 위해서는 3차원의 자계를 검출할 수 있는 자기센서의 개발이 필요하다. 본 연구에서의 3차원 자기 센서는 2개의 수직 hall 소자(VH 소자)1개의 수평 hall 소자(LH 소자)로 구성하였다. 3차원 자기 센서는 표준 실리콘 바이폴라 공정 기술을 이용하여 쉽게 그의 제조가 가능하다. 또한, Hall 전압, 감도 및 offset 전압 등의 측정을 통하여 분석하였으며, 감도 및 offset 전압의 온도의존성도 조사하였다.

Abstract ▼

We have fabricated a three dimensional magnetic sensor in standard bipolar technology. It includes a lateral Hall cell and two vertical Hall cells. The device is based upon the Hall effect. We have measured the characteristics of it. As results, it showed linear response in a magnetic field with

We have fabricated a three dimensional magnetic sensor in standard bipolar technology. It includes a lateral Hall cell and two vertical Hall cells. The device is based upon the Hall effect. We have measured the characteristics of it. As results, it showed linear response in a magnetic field with the current related sensitivity of 232 V/AT and 38 V/AT respectively. And its charaterization dependent of temperature is almost constant.

목차 Contents

• 목차...5
• 1. 서론...6
• 2. 홀 소자의 동작원리...8
• 3. 감도의 정의...11
• 4. 3차원의 자기센서의 구성 소자...13
• 5. 홀 소자의 특성...17
• 6. 실험 및 고찰...22
• 7. 결론...57
• 참고문헌...58