플라즈마 용사법으로 제작한 TiO2 반도체 피막의 응용 Application of Plasma Sprayed TiO2 Semiconductor Materials원문보기
보고서 정보
주관연구기관
경북대학교 KyungPook National University
연구책임자
박경채
발행국가
대한민국
언어
한국어
발행년월
1993-02
주관부처
과학기술부
사업 관리 기관
경북대학교 KyungPook National University
등록번호
TRKO200200016325
DB 구축일자
2013-04-18
키워드
플라즈마 용사.TiO2 코팅.전기전도도.광전극특성.결정구조.Plasma sprying.TiO2 coatings.electrical conductivity physical and chemical properties.oxegen concentration photocurrent.electrical resistivity.
초록▼
본 연구에서는 산업현장의 기술인 플라즈마 용사를 이용하여 TiO? 분말로 다결정체의 플라즈마 용사 TiO? 피막을 만들고, 플라즈마 용사조건 및 첨가물에 의해 변화하는 전기저항, 광전류, 산소농도, 결정구조 등을 세부적으로 조사하였다. 특히 플라즈마 용사분위기, 각종가스(수소), 첨가물의 관계를 구체적으로 검토하였다. 그결과 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. TiO? 플라즈마 용사피막의 탈리량은 용사분위기의 감압 정도가 커지고, 작용가스로서 수소량이 많아지면 더욱 많아졌다. 또한 전기전도도도 매우 증가함을 보였다.
본 연구에서는 산업현장의 기술인 플라즈마 용사를 이용하여 TiO? 분말로 다결정체의 플라즈마 용사 TiO? 피막을 만들고, 플라즈마 용사조건 및 첨가물에 의해 변화하는 전기저항, 광전류, 산소농도, 결정구조 등을 세부적으로 조사하였다. 특히 플라즈마 용사분위기, 각종가스(수소), 첨가물의 관계를 구체적으로 검토하였다. 그결과 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. TiO? 플라즈마 용사피막의 탈리량은 용사분위기의 감압 정도가 커지고, 작용가스로서 수소량이 많아지면 더욱 많아졌다. 또한 전기전도도도 매우 증가함을 보였다. 이것은 플라즈마 용사피막의 결정생성상 TiO?로 부터 TiO(sub)(2-X), mageli, T?O?, Ti?O?상으로의 천이에 따른 것이라고 판단된다. 2. TiO? 플라즈마 용사피막의 광전류특성에서, 탈리량이 많고 전기전도도가 커지면, 광전류는 작아졌다. 이것을 용사중 환원이 많이되어 magneli, Ti?O?, Ti?O? 상이 생성되어 피막이 금속성을 가지는 반면 반도체 성질을 소멸하기 때문인 것으로 판단된다. 또한 극히 작은 환원은 TiO? 자체가 부도체이기 때문에 광전류치가 작게된다. 이리하여 가장 우수한 광전극 특성을 나타내기 위해서는 적당한 환원량이 요구되어 진다고 판단된다. 3. TiO? 플라즈마 용사피막의 광전류는 분위기로서 감압보다 대기의 용사조건에서 제작한 경우가, 플라즈마 가스로서는 He의 경우보다 Ar에서 제작한 경우가, 플라즈마 송급가스로서는 N?보다 Ar의 경우가, 용사분말의 불순물로서는 Fe?O?보다 Al?O? 불순물의 존재하는 경우가, 작동가스수소를 사용 했을 경우보다는 사용하지 않았을 때의 경우가 큰 값을 가졌다. 4. 산화물(1w%)을 첨가한 경우, 첨가물 La?O?, ZrO? 및 Al?O?에 의해 제작된 용사피막은 용사분위기로서 대기에서 작동가스수소 유무에 관계없이 높은 광전류치를 나타냈다.
Abstract▼
In this study an industrial coating technique, plasma spraying has also been used to produce TiO? polycrystalline coatings from TiO? powders. The physical and chemical properties of plasma sprayed TiO? coatings depend greatly on plasma spraying conditions, and so the electrical resistivity, oxyge
In this study an industrial coating technique, plasma spraying has also been used to produce TiO? polycrystalline coatings from TiO? powders. The physical and chemical properties of plasma sprayed TiO? coatings depend greatly on plasma spraying conditions, and so the electrical resistivity, oxygen concentration, photocurrent and crystal structure of plasma sprayed TiO? coatings has been studied. The results obtained were summarized as follows: 1. The oxygen loss and electrical conductivity of TiO? plasma sprayed coatings are increased by low pressure and high amount of axiliary gas, hydrogen in plasma sprying. 2. High oxygen loss increase electrical conductivity, and decresed photocurrent of TiO? plasma sprayed coatings. 3. Photocurrent of TiO? plasma sprayed coatings manufactured in low pressure is higher. 4. Regardless of auxiliary H? in atmospheric spray condition. Photocurrent of TiO? plasma sprayed coatings manufactured by additional oxide(1w%) of La?O?, ZrO?, Al?O? or Cr?O? increase.
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