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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경북대학교 KyungPook National University |
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연구책임자 | 박세광 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1993-02 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 경북대학교 KyungPook National University |
등록번호 | TRKO200200016545 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 정저항형 유속센서.피이드백 회로.챔버.보호막.감도.Constant resistance type flow sonsor.Feedback circuit.Chamber passivation.Sensitivity. |
산업 계측 중에서 중요한 분야 중의 하나인 유속 및 유량을 측정하기 위해 반도체 기술을 이용한 정저항형 유속센서를 설계 및 제작하였다. 이 센서의 동작원리는 유동에 의한 가열된 센서의 냉각 작용에 따른 열의 손실을 계산함으로써 유속을 측정한다는 것에 기초한다. 피이드백 회로는 유체와 가여된 센서의 온도차를 일정케 함으로 쎈서의 저항값을 일정케 한다. 온도차를 일정케 하기 위해 필요한 센서에서의 전력의 변화를 측정함으로 유속을 검출할 수 있다. 검출회로는 열전도와 잡음에 의한 영향은 상쇄되게 하여 열대류에 의한 영향만을 고려하
The constant resistance type flow sonsor which employs the principle to measure flow velocity by power consumption of sensor for flow velocity change has been designed and fabricated by using the semiconductor technique. The sensor is composed of the measurment and the reference sensor. Feedback c
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