최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 Seoul National University |
---|---|
연구책임자 | 전국진 |
참여연구자 | 김현철 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1993-02 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 서울대학교 Seoul National University |
등록번호 | TRKO200200016579 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 정전 용량형 압력 센서.전기 화학적 식각 정지.Anodic Bonding.On-chip 센서.SC 적분기. |
본 연구에서는 실리콘을 이용한 정전 용량형 압력 센서의 설계와 제작에 관하여 연구하였다. 500㎛x500㎛x3㎛의 다이아프램을 설계하여 1.18x10? Pa동적 동작 영역을 갖는 정전 용량형 압력 센서와 압력 센서의 캐패시턴스 출력을 검출하기 위한 SC 적분기 회로를 on-chip 화 하여 설계하였다. 압력 센서 제작을 위한 단위 공정 기술 개발로서 '다이라프램 형성'에서는 PECVD SiN 박막을 5000Å 증착하여 식각 마스크로 사용하고 전기화학적 식각 정지에 의한 4.3㎛의 다이아프램을 형성하였고 표준 CMOS 공정과
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.