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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경희대학교 Kyung Hee University |
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연구책임자 | 전계석 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1996-04 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 경희대학교 Kyung Hee University |
등록번호 | TRKO200200017668 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 초음파현미경.디지털 헤테로다인.Quadrature 검출장치.A/D변환기.비집속 모드.acoustic microscope.digital heterodyne.quadrature detector.A/D converter.defocused mode. |
항공전자 산업이나 반도체 산업분야에서는 제품에 대한 품질관리와 안정성 확보 및 생산공정의 경비절감이라는 차원에서 초정밀 비파피검사 장비의 필요성이 대두되고 있으며 최근에는 국내 반도체 산업계에서도 C-SAM (C-Scanning Acousticmicroscope) 초음파 현미경 장비를 고가임에도 불구하고 수입하여 사용하고 있는 실정이다.그리고 앞으로는 반도체, 신소재, 복합재료 및 정밀부품 공업 분야까지도 그 수요가 더욱늘어날 것으로 예측되므로 이에 대한 국산화 개발이 시급히 요망된다.초음파 현미경의 일반적 개념은 광학현미
In aerospace electronics and semiconductor industry, precisenondestructive test equipment is becoming an important task because it can stabilizequality control and reduce production cost. Currently domestic semiconductor industryis importing C-SAM (C-Scanning Acoustic Microscope) despite it
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