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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경희대학교 Kyung Hee University |
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연구책임자 | 전계석 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1998-04 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 경희대학교 Kyung Hee University |
등록번호 | TRKO200200018433 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | SLAM.쿼드러쳐 신호검출기.토모그라픽 영상.BFP 알고리즘.다중 투사 방법.다층구조물.SLAM.Quadrature singnal detector.Tomograpic Image.BFP Algorithm.Multiple projection.Multilayered structure. |
산업기술이 고도화됨에 따라 제품에 대한 품질관리와 안정성확보및 생산공정의 경비절감이라는 차원에서 초정밀 비파괴검사 장비의 필요성이 대두되고 있으며, 국내 반도체 산업계에서도 C-SAM 및 SLAM 등의 초음파현미경 장비를 고가임에도 불구하고 수입하여 사용하고 있는 실정이다. 그러나 최근에는 집적회로를 포함하여 다층구조를 갖는 첨단 부품에 대한 관심이 고조되고 있으며 그 수요가 급증하고 있는 추세이므로이에 알맞는 비파괴검사 장비의 필요성이 절실할 것으로 예측된다. 이와 같은 최근 상황에 비추어 볼 때 기존의 C-SAM이나
As industrial technology advances, the need to develop precisenondestructive test equipment is becoming important for better quality control,stabilization of product quality and reduction of production cost. Domesticsemiconductor industry wastes a lot of US dollars to im
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