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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 Seoul National University |
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연구책임자 | 노태원 |
참여연구자 | Ramesh |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2000-10 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 서울대학교 Seoul National University |
등록번호 | TRKO200200036212 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
크게 강유전체 박막 제조 기술, 자성 금속산화물 박막 제조 기술, 박막 평가 기술 개발의 세 분야로 나누어 연구개발을 추진하였다. 강유전체 박막 제조 기술에 대해서는, 다양한 강유전체 박막의 증착, 결함 및 소자 신뢰성 문제 연구, 신소재 개발 등의 내용을 포함하고 있다. 자성 금속산화물 박막 제조 기술은 결정성장 패턴의 영향, 자성 박막 증착을 위한 Laser MBE 증착 기술의 확보 등이다. 박막 평가 기술은 spectroscopic ellipsometry 등의 비파괴 평가 방법의 연구 등으로 이루어져 있다.
The main contents of this research and development are fabrication of ferroelectric thin films, fabrication of magnetic metal-oxide thin films, and thin film characterization techniques. In ferroelectric thin film technology, are included the growth of various ferroelectric thin films, study on defe
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