초록 ▼

1. 초고주파 플라즈마 원의 비교 ECR플라즈마 원과 off-resonance 플라즈마 원 플라즈마 발생 mechanism의 차이와 플라즈마 밀도 비교 2. 최적 자기장 설계 시뮬레이션을 통한 자장 형태와 세기 계산 3. 초고주파 플라즈마 원 시스템의 설계 초고주파 원, 진공, 그리고 진단 시스템 설계 4. 소형 고밀도 플라즈마 원 시제품 제작 자장 설계에 부합하는 영구자석을 모듈화하여 조립 설계된 초고주파 플라즈마 원 시스템 제작 및 조립 5. 플라즈마 특성 연구 ECR플라즈마 밀도 이상의 고밀도 플라즈마 특

1. 초고주파 플라즈마 원의 비교 ECR플라즈마 원과 off-resonance 플라즈마 원 플라즈마 발생 mechanism의 차이와 플라즈마 밀도 비교 2. 최적 자기장 설계 시뮬레이션을 통한 자장 형태와 세기 계산 3. 초고주파 플라즈마 원 시스템의 설계 초고주파 원, 진공, 그리고 진단 시스템 설계 4. 소형 고밀도 플라즈마 원 시제품 제작 자장 설계에 부합하는 영구자석을 모듈화하여 조립 설계된 초고주파 플라즈마 원 시스템 제작 및 조립 5. 플라즈마 특성 연구 ECR플라즈마 밀도 이상의 고밀도 플라즈마 특성실험

Abstract ▼

1. Comparison of microwave plasma sources - Comparison of plasma generation mechanisms and plasma densities between ECR plasma sources and off-resonance plasma sources2. Design of optimized magnetic field - Simulation of magnetic field shape and intensity3. Design of microwave plasma source system

1. Comparison of microwave plasma sources - Comparison of plasma generation mechanisms and plasma densities between ECR plasma sources and off-resonance plasma sources2. Design of optimized magnetic field - Simulation of magnetic field shape and intensity3. Design of microwave plasma source system - System design of microwave source, vacuum, and plasma diagnostics4. Construction of a compact high density plasma source - Assembling module of permanent magnets matched to the design of magnetic field structure - construction and assembly of the designed microwave plasma source systems5. Study on plasma properties in this source Characteristics of a high density plasma source operating at higher magnetic field than that of ECR plasma sources

목차 Contents

• 제1장 서론...13
• 제2장 국내,외 기술개발 현황...14
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과...15
• 제1절 문헌조사 및 이론적 배경...15
• 제2절 실험 준비 및 방법...16
• 1. 자장 시스템 설계...16
• 2. 실험장치 제작...17
• 가. 초고주파 원 시스템...18
• 나. 플라즈마 발생 챔버 및 자석 시스템...18
• 다. 진공 시스템...21
• 라. 플라즈마 진단 시스템...21
• 마. 중성기체 조절 시스템...24
• 3. 실험 절차...24
• 가.낮은 출력에서의 CW운전...24
• 나. 펄스 운전...24
• 제3절 실험결과 및 고찰...25
• 1. 중성기체 압력 의존성...25
• 2. 초고주파 입력 power 의존성...26
• 제4절 결론...32
• 제4장 연구개발 목표 달성도 및 대외 기여도...33
• 제5장 연구개발 결과의 활용계획...33
• 제6장 참고문헌...34