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[국가R&D연구보고서] 초고주파를 이용한 고밀도 플라즈마원에 관한 연구
A Study on high density plasma sources using microwave 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
연구책임자 황용석
참여연구자 엄규섭 , 홍인석 , 김희준
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1998-01
주관부처 과학기술부
연구관리전문기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
등록번호 TRKO200200049261
DB 구축일자 2013-04-18

초록

1. 초고주파 플라즈마 원의 비교 ECR플라즈마 원과 off-resonance 플라즈마 원 플라즈마 발생 mechanism의 차이와 플라즈마 밀도 비교 2. 최적 자기장 설계 시뮬레이션을 통한 자장 형태와 세기 계산 3. 초고주파 플라즈마 원 시스템의 설계 초고주파 원, 진공, 그리고 진단 시스템 설계 4. 소형 고밀도 플라즈마 원 시제품 제작 자장 설계에 부합하는 영구자석을 모듈화하여 조립 설계된 초고주파 플라즈마 원 시스템 제작 및 조립 5. 플라즈마 특성 연구 ECR플라즈마 밀도 이상의 고밀도 플라즈마 특

Abstract

1. Comparison of microwave plasma sources - Comparison of plasma generation mechanisms and plasma densities between ECR plasma sources and off-resonance plasma sources2. Design of optimized magnetic field - Simulation of magnetic field shape and intensity3. Design of microwave plasma source system

목차 Contents

  • 제1장 서론...13
  • 제2장 국내,외 기술개발 현황...14
  • 제3장 연구개발수행 내용 및 결과...15
  • 제1절 문헌조사 및 이론적 배경...15
  • 제2절 실험 준비 및 방법...16
  • 1. 자장 시스템 설계...16
  • 2. 실험장치 제작...17
  • 가. 초고주파 원 시스템...18
  • 나. 플라즈마 발생 챔버 및 자석 시스템...18
  • 다. 진공 시스템...21
  • 라. 플라즈마 진단 시스템...21
  • 마. 중성기체 조절 시스템...24
  • 3. 실험 절차...24
  • 가.낮은 출력에서의 CW운전...24
  • 나. 펄스 운전...24
  • 제3절 실험결과 및 고찰...25
  • 1. 중성기체 압력 의존성...25
  • 2. 초고주파 입력 power 의존성...26
  • 제4절 결론...32
  • 제4장 연구개발 목표 달성도 및 대외 기여도...33
  • 제5장 연구개발 결과의 활용계획...33
  • 제6장 참고문헌...34

참고문헌 (25)

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