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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
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연구책임자 | 윤석진 |
참여연구자 | 윤영수 , 정형진 , 김현재 , 임재홍 , 박용욱 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1999-10 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200200049488 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
○ 연구개발의 목표1. 초소형 압력센서용 압저항성 다결정 실리콘 박막의 개발 (면저항 20~30 Ω /□, 영스모듈러스 ~150GPa, 두께균일도 ±5%(4인치 실리콘 웨이퍼)2. MEMS 공정을 이용한 세탁기 수위레벨 측정 및 조정용 초소형 압력센서의 개발 (소자제작 규모 4인치 웨이퍼, 탐지가능 수위 범위 20 mm ~ 500 mm, 사용가능 온도 범위 -30℃ ~ +125℃)○ 사업수행 성과1. 4인치 웨이퍼 규모의 박막 합성 - 고신뢰 및 높은 균일도2. MEMS공정을 이용한 수위 조절용 압력센서 개발 - 4인치 웨이퍼를
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