초록 ▼

본 연구개발의 내용은 다음과 같이 7 과제로 분류할 수 있다. 그 구체적인 내용과 범위는 다음과 같다. 1. 나노결정 구조 연자성 박막 연구 (1) 나노결정 구조의 Fe-(M)-Hf-N계 연자성 박막 연구 (2) 나노결정 구조의 Fe-Al-0계 연자성 박막 연구 2. 나노결정 구조 Co-ferrite 박막 연구 (1) Co-ferrite졸의 물성 연구 (2) 초미세 Co-ferrite 분말의 특성 연구 (3) 나노결정 구조 Co-ferrite 박막의 특성 연구 3. 나노구조 광학박막 연구

본 연구개발의 내용은 다음과 같이 7 과제로 분류할 수 있다. 그 구체적인 내용과 범위는 다음과 같다. 1. 나노결정 구조 연자성 박막 연구 (1) 나노결정 구조의 Fe-(M)-Hf-N계 연자성 박막 연구 (2) 나노결정 구조의 Fe-Al-0계 연자성 박막 연구 2. 나노결정 구조 Co-ferrite 박막 연구 (1) Co-ferrite졸의 물성 연구 (2) 초미세 Co-ferrite 분말의 특성 연구 (3) 나노결정 구조 Co-ferrite 박막의 특성 연구 3. 나노구조 광학박막 연구 (1) 나노구조 복합 박막재료 합성방법 연구 (2) 유효매질이론 연구 (3) Nanocomposite film의 구조 및 광학특성 연구 (4) 나노구조 박막의 광기록 구성 재료로서의 활용 가능성 연구 4. 나노구조 3원계 W-B-N 금속박막 연구 (1) PECVD 방법을 이용한 나노구조 3원소계 W-B-N 금속박막의 증착기술 개발 및 특성 연구 (2) 불순물 함량에 따른 박막의 구조제어 및 비저항 제어 기술 개발 (3) 소지 내에 있는 미량 및 경량원소에 대한 분석 기술 개발 (4) 저저항금속박막인 Cu와의 열적안정성 관찰 및 전기적 특성 고찰 (5) W-B-N/GaAs Schottky contact diode 제작을 통한 전기적 특성관찰 및 GaAs 기판과의 열적안정성 고찰 5. 나노 그래뉼라 자기저항 박막 연구 (1) Co-Ag 합금박막 두께에 따른 구조적, 자기적 거동 연구 (2) Co-Ag 합금박막 및 Fe/Co-Ag/Fe 삼층박막에서 합금박막의 조성 및 열처리에 따르는 자기 및 자기저항 거동에 관한 연구 (3) CoFe/Ag 다층박막의 구조 및 자기적 특성, 자기저항 거동에 대한 연구 6. 고자화력 나노구조 자성박막 연구 (1) KrF laser ablation법에 의한 NdFeB계 단층막, $[Nd_2Fe_{14}B]/[Fe]/[Nd_2Fe_{14}B]$ 및 $[Fe_3B]/[Nd_2Fe_{14}B]/[Fe_3B]$ 3층막의 최적 성장기술 연구 (2) NdFeB계 단층막, $[Nd_2Fe_{14}B]/[Fe]/[Nd_{2}Fe_{14}B]/; 및/; [Fe_3B]$/[Nd_2Fe_{14}B]/[Fe_3B]$ 3 층막의 자기특성, 미세구조특성 평가기술 연구 (3) 희토류 화합물 3층막에서 exchange coupling 현상 규명 (4) Nd-YAG laser ablation법에 의한 SmCo계 단층막의 최적 성장기술 연구 (5) SmCo계 단층막의 자기특성, 미세구조특성 평가기술 연구 7. Laser MBE를 이용한 나노구조 자성박막 연구 (1) 단결정 기판의 원자층 단위 분석 및 제어 기술 연구 (2) 원자 단위의 제어를 통한 산화물 박막의 증착 및 특성 연구 (3) Half metallic 특성을 지닌 nano 자성체 박막의 증착 및 특성 연구 (4) 산화물 다층 박막 및 인공 초격자 증착 및 특성 분석

Abstract ▼

The present research are divided into following 7 topics. Contents and scope of each topic are as follows. 1. A study on the nanocrystalline soft magnetic thin films (1) Development of Fe-(M)-Hf-N based nanocrystalline soft magnetic films (2) Development of Fe-Al-0 based nanocrystalline soft

The present research are divided into following 7 topics. Contents and scope of each topic are as follows. 1. A study on the nanocrystalline soft magnetic thin films (1) Development of Fe-(M)-Hf-N based nanocrystalline soft magnetic films (2) Development of Fe-Al-0 based nanocrystalline soft magnetic films 2. A study on the nanocrystalline Co-ferrite thin films (1) Properties of Co-ferrite sol (2) Properties of ultra fine Co-ferrite powder (3) Characteristics of nanocrystalline Co-ferrite thin film 3. A study on the nanostructured optical thin films (1) Synthesis method of nanostructured composite thin films (2) Effective medium approximations (3) Structure and optical properties of nanocomposite films (4) Applicability of nanocomposite thin films for optical memory media 4. A study on the nanostructured W-B-N ternary thin films (1) Deposition process and characteristics of PECVD grown nanostructured ternary W-B-N thin film (2) Control of crystal structure and resistivity according to impurity contents (3) Impurity analysis of light elements in the ternary thin film (4) Thermal stability and electrical properties of ternary diffusion barrier against Cu (5) Electrical characteristics and thermal stability of W-B-N/GaAs Schottky contact diode 5. A study on the nanostructure and magnetoresistance behavior of the nanogranular films (1) Microstructure and giant magnetoresistance of Co-Ag nanogranular films (2) Magnetic and magnetoresistance behavior of Co-Ag and Fe/Co-Ag/Fe sandwiches (3) Structural and magnetic properties and magnetoresistance behavior of CoFe/Ag multilayer 6. A study on the nanocomposite magnetic films with a high magnetic moment (1) Deposition technology of NdFeB single layer, $[Nd_2Fe_{14}B]/[Fe]/[Nd_2Fe_{14}B]/; and/; [Fe_3B]/[Nd_2Fe_{14}B]/[Fe_3B]$ trilayer by KrF laser ablation method (2) Magnetic properties and microstructures of NdFeB single layer, $[Nd_2Fe_{14}B]/[Fe]/[Nd_2Fe_{14}B]/; and/; [Fe_3B]/[Nd_2Fe_{14}B]/[Fe_3B]$ trilayer (3) Analysis of exchange coupling phenomena in rareearth composite trilayer (4) Deposition technology of SmCo single layer by Nd-YAG laser ablation method (5) Magnetic properties and microstructures of SmCo single layer 7. A study on the nanostructured magnetic thin films by laser MBE method (1) Characterization and control of single crystalline substrates (2) Growth and characterization of oxide thin films in the atomic level (3) Growth and characterization of half metallic nanosized magnetic films (4) Growth and characterization of oxide multilayers/superlattices

목차 Contents

• 제 1 장 총 론...35
• 제 2 장 나노결정 구조 연자성 박막 연구...41
• 제1절 서 론...43
• 제2절 실험방법...45
• 제3절 결과 및 고찰...46
• 제4절 결 론...89
• 참고문헌...91
• 제 3 장 나노결정 구조 Co-ferrite 박막 연구...95
• 제1절 서 론...97
• 제2절 실험방법...100
• 제3절 결과 및 고찰...108
• 제4절 결 론...140
• 참고문헌...141
• 제 4 장 나노구조 광학 박막 연구...145
• 제1절 서 론...147
• 제2절 유효매질이론 및 평가방법...150
• 제3절 실험 장치 및 방법...165
• 제4절 결과 및 토의...172
• 제5절 결론 및 향후 계획...196
• 참고문헌...197
• 제 5 장 나노구조 3원계 W-B-N 금속 박막 연구...199
• 제1절 서 론...201
• 제2절 나노구조 W-B-N 박막의 형성기술 및 특성분석...208
• 제3절 W-B-N 박막의 전기적 특성...231
• 제4절 표면개작기술을 이용한 W-B-N 박막의 형성기술...237
• 제5절 연구결과의 종합적 결론...245
• 참고문헌...247
• 제 6 장 나노 그래뉼라 자기저항 박막 연구...249
• 제1절 서 론...251
• 제2절 연구개발수행 내용 및 결과...253
• 제3절 결 론...298
• 참고문헌...300
• 제 7 장 고자화력 나노구조 자성박막 연구...303
• 제1절 서 론...305
• 제2절 이론적 배경...307
• 제3절 실험방법...312
• 제4절 연구결과 및 고찰...314
• 제5절 결 론...352
• 참고문헌...354
• 제 8 장 Laser MBE를 이용한 나노구조 자성박막 연구...357
• 제1절 서 론...359
• 제2절 단결정 기판의 원자층 단위 분석 및 제어 기술...362
• 제3절 원자 단위의 제어를 통한 산화물 박막의 증착 및 특성 연구...372
• 제4절 박막-기판 계면 및 그 응력 완화에 대한 원자 수준의 이해...375
• 제5절 산화물 다층 박막 및 인공 초격자 증착 및 특성 분석...380