초록

- 계획수립 및 문헌, 특허 등 자료 조사- 아크법 + 언밸런스드 마그네트론 스퍼터링법의 코팅 장비 제작- Ti는 아크법으로 Al은 언밸런스드 마그네트론 스퍼터링법으로 코팅(전력에 따른 조성변화, 질소량, 바이아스 인가전압 등)- 물성평가(조성, 우선성장방위, 미세경도, 밀착도, 표면상태 등)- 절삭성능평가

목차 Contents

• 제1장 서론...15
• 제1절 연구개발의 필요성...15
• 제2절 연구개발의 목적 및 내용...16
• 제2장 TiAIN 코팅 기술...18
• 제1절 TiAIN 코팅의 특징...18
• 제2절 코팅기술...21
• 제3장 장치의 구조 및 설계 제작...28
• 제1절 국외 장치의 제원 분석...28
• 제2절 진공 챔버...29
• 제3절 하이브리드 증착원...35
• 제4절 지그 및 히터 시스템...40
• 제5절 진공 배기 장치...43
• 제6절 전원장치...44
• 제7절 제어반...56
• 제4장 장치의 운용 및 제특성...60
• 제1절 배기 및 승온...60
• 제2절 스퍼터 특성...62
• 제3절 아크 및 아그,스퍼터 동시동작 특성...67
• 제5장 코팅실험 및 결과분석...70
• 제1절 TiN박막의 표면상태 (조대입자)...71
• 제2절 TiAIN 코팅실험...72
• 제3절 TiAIN 박막의 Morphology...74
• 제4절 TiAIN 박막의 조성...77
• 제5절 TiAIN 박막의 표면상태(조대입자)...78
• 제6절 TiAIN박막의 XRD분석...82
• 제7절 TiAIN박막의 미소경도...90
• 제8절 TiAIN박막의 밀착력...92
• 제9절 절삭성능평가...94
• 제6장 결론...100
• 제7장 연구과제에 대한 건의...102
• 참고문헌...103
• 부 록 : 위탁과제 보고서...105