초록 ▼

Pulsed DC 플라즈마를 이용한 플라즈마 질화 공정에서 Langnuir probe 및 OES를 이용하여 공정압력 1∼10 Torr의 압력범위와 Pulsed DC 전원의 frequency 및 duty ratio, bias voltage에 따른 질소 플라즈마의 특성과 혼합기체(N₂, H₂)의 부분압력 비에 따른 OES분석을 실시하였다. N₂+와 N₂에 대하여 플라즈마 질화 공정 조건별 질소 플라즈마의 거동에 관한 연구를 수행하였으며 Langmuir probe에 의한 플라즈마 parameter를 측정하였다. 또한 TCP(Transf

Pulsed DC 플라즈마를 이용한 플라즈마 질화 공정에서 Langnuir probe 및 OES를 이용하여 공정압력 1∼10 Torr의 압력범위와 Pulsed DC 전원의 frequency 및 duty ratio, bias voltage에 따른 질소 플라즈마의 특성과 혼합기체(N₂, H₂)의 부분압력 비에 따른 OES분석을 실시하였다. N₂+와 N₂에 대하여 플라즈마 질화 공정 조건별 질소 플라즈마의 거동에 관한 연구를 수행하였으며 Langmuir probe에 의한 플라즈마 parameter를 측정하였다. 또한 TCP(Transformer Coupled Plasma)의 공정압력과 인입 Power에 따른 질소 이온의 거동을 LIF분석을 실시하였다.

Abstract ▼

Pulsed DC is widely used to control the hollow cathode discharge effect, and the main process variables on hollow cathode discharge effect are suggested to the size of the hole, the gas pressure and the plasma current density.In this study, we employed the pulsed DC plasma for the plasma nitriding o

Pulsed DC is widely used to control the hollow cathode discharge effect, and the main process variables on hollow cathode discharge effect are suggested to the size of the hole, the gas pressure and the plasma current density.In this study, we employed the pulsed DC plasma for the plasma nitriding of narrow holes. H13 steel with blind hole diameters of 1mm, 2mm, 3mm, 4mm, 5mm were nitride at 550℃ for 3hours, and nitriding efficiencies and aspect ratios of hole were compared as the hole diameter increased.In order to diagnose the plasma with hollow cathode discharge, we used Langmuir probe method and Optical emission spectroscopy(OES).LIF carried out nitrogen ion beahvior by working pressure and supplied power of TCP(Transformer Coupled Plasma).

목차 Contents

• 표지...1
• 제출문...2
• 요약문...3
• SUMMARY...4
• 목차...6
• 제1장 서론...7
• 제2장 국내ㆍ외 기술개발 현황...9
• 제3장 연구개발 수행 내용 및 결과...10
• 제1절 질소의 여기(Excitation) 및 이온화(Ionization) 기구...10
• 제2절 Hollow Cathode Discharge (HCD)...14
• 제3절 Optical Emission Spectroscopy (OES)...17
• 제4절 Langmuir probe 분석...27
• 제5절 Laser Induced Fluorescence (LIF)...32
• 제6절 플라즈마 질화...40
• 제4장 연구개발 목표 및 달성도 및 대외기여도...64
• 제5장 연구 결과의 활용계획...65
• 제6장 참고문헌...66