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DIC방식 현미경의 평가분석에 관한 연구 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국생산기술연구원
Korea Institute of Industrial Technology
연구책임자 이현수
참여연구자 진병복 , 곽운영
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1992-11
주관부처 산업자원부
사업 관리 기관 한국생산기술연구원
Korea Institute of Industrial Technology
등록번호 TRKO200200055327
DB 구축일자 2013-04-18

초록

본 연구는 DIC 방식 현미경 뿐만 아니고 생물현미경, 금속현미경등 공히 공통적으로 적용할 수 있는 시험검사 및 평가분석방법이며 시험검사 기준은 현행의 한국공업규격 및 일본공업규격등을 참고로 하여 다음과 같은 연구범위를 선정 검토하였다.1. 기술체계 및 기술수준평가분석 항목 및 내용 조사연구2. 상평가 : 광학계의 배율측정 및 상의선명도 평가기술 및 시험검사방법3. 구동메카니즘 평가 : 스테이지, 재물대의 이동시의 떨림여부, 걸림 구동시에 인가되는 힘의 균일도등의 평가기술 및 시험검사방법

목차 Contents

  • 제 1 장 서 론...9
  • 제 1 절 현미경의 종류와 원리...9
  • 제 2 절 반사형 가섭현미경의 종류...15
  • 제 3 절 간섭현미경에서의 간섭현상...18
  • 제 4 절 복굴절률...24
  • 제 5 절 D.I.C. SYSTEM과 광학계...27
  • 제 2 장 연구내용...33
  • 제 1 절 현미경의 기술체계연구...33
  • 1. 제조공정체계...33
  • 2. 제조기술의 체계...34
  • 3. 각 부분별 평가분석 내용...35
  • 제 2 절 평가분석에 대한 연구...36
  • 1. 시험검사기구 및 장치...36
  • 2. 검사표본의 종류 및 용도...37
  • 3. 평가분석 항목...38
  • 4. 평가분석 순서도...39
  • 제 3 절 현미경 평가분석의 시험검사방법에 관한 연구...40
  • 1. 기능시험검사...40
  • 2. 형식시험검사...54
  • 제 3 장 결 론...57
  • 참고문헌...59

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참고문헌 (25)

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