초록 ▼

본 과제는 일본 기계기술연구소와 공동으로 3년에 걸친 계속사업을 추진하고 있다. 1차년도에서는 주로 Plasma CVD 장치의 개발 및 고경질 탄소막(DLC) 증착기술의 기반확립을 완료했으며, 2차년도인 본년도에는 내마모용 박막 제조기술의 고도화 및 Tribology 특성평가에 대한 연구를 수행했다.내마모용 박막제조는 1차년도에 개발한 평판형 R.F. Plasma CVD 장비를 이용하여 CH₄ 가스를 사용하여 수행하였고, 시험제작한 DLC(Diamond Like Carbon) 박막에 대해서는 성장속도, 내부응력, 결합력 및 물질구조

본 과제는 일본 기계기술연구소와 공동으로 3년에 걸친 계속사업을 추진하고 있다. 1차년도에서는 주로 Plasma CVD 장치의 개발 및 고경질 탄소막(DLC) 증착기술의 기반확립을 완료했으며, 2차년도인 본년도에는 내마모용 박막 제조기술의 고도화 및 Tribology 특성평가에 대한 연구를 수행했다.내마모용 박막제조는 1차년도에 개발한 평판형 R.F. Plasma CVD 장비를 이용하여 CH₄ 가스를 사용하여 수행하였고, 시험제작한 DLC(Diamond Like Carbon) 박막에 대해서는 성장속도, 내부응력, 결합력 및 물질구조 등의 박막특성을 파악하였다. 또한 CVD Modelling 확립 및 Plasma Jet CVD에 의한 다이아몬드 박막제조에 관한 연구를 대학에 위탁 수행하여 증착막의 균일화 및 고경질화에 대한 기반기술의 확보도 시도하였다.한편, DLC 박막에 대한 Tribology 특성은 일본 기계기술연구소와 공동연구로 왕복동형과 Pin on Disk형의 특성평가 장비를 제작하여 박막에 대한 마찰 및 마모실험을 통하여 특히, 증착시의 Chamber내 압력 및 Bias 전압이 DLC 박막의 Tribology 특성에 미치는 영향을 집중 검토하였다.

목차 Contents

• 제1장 서론...13
• 제2장 내마모용 박막 제조기술의 고도화...15
• 2-1 R.F. Plasma CVD에 의한 DLC 박막 증착 원리...15
• 2-2 PCVD 모델링 확립 및 S/W 개발...23
• 2-3 Plasma Jet CVD에 의한 다이아몬드 합성...66
• 제3장 DLC 박막 제조 및 특성평가 방법...89
• 3-1 PCVD에 의한 박막 제조...89
• 3-2 박막의 특성 평가 실험...92
• 제4장 DLC 박막의 특성 및 물질 분석...103
• 4-1 성장속도...103
• 4-2 내부응력...107
• 4-3 Scratch test...115
• 4-4 FTIR 및 Raman 분석...121
• 제5장 DLC 박막의 Tribology 특성 평가...127
• 5-1 Tribology 평가 실험 장치 제작...127
• 5-1-1 왕복동 시험장치...127
• 5-1-2 PIN-ON DISK 시험장치...147
• 5-2 DLC 마찰특성 평가...149
• 5-3 DLC 내마모 특성 평가...164
• 제6장 결론 및 향후과제...167
• 참고문헌...171